氮化钛作为新型节能玻璃涂层的研究

【摘要】：利用常压化学气相沉积法(APCVD)以四氯化钛(TiCl4)和氨气(NH3)作为反应物在玻璃基板上沉积制备了氮化钛(TiN)薄膜.分别用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、四探针电阻仪和分光光度计等对TiN薄膜的结晶性能、微观结构、表面形貌和光学、电学性能进行了分析.结果表明,制备的TiN薄膜厚度为500nm,具有NaCl型面心立方结构并表现出(200)晶面的择优取向,薄膜的晶粒大小分布均匀.在可见光区的透射率达到60%,反射率小于10%.在近红外光区的反射率达40%以上.方块电阻为34.5Ω,按照Drude理论可以计算出薄膜的中远红外反射率为71.5%,说 【作者单位】： 浙江大学材料系硅材料国家重点实验室 浙江大学材料系硅材料国家重点实验室 浙江大学材料系硅材料国家重点实验室 浙江大学材料系硅材料国家重点实验室 浙江大学材料系硅材料国家重点实验室 浙江大学材料系硅材料国家重点实验室
【关键词】： 氮化钛 常压化学气相沉积法 节能涂层
【基金】：国家自然科学基金(批准号:50372060和50672086)资助项目
【分类号】：O484.1
【正文快照】： 低辐射镀膜玻璃由于其优良的节能性能在建筑领域备受关注.低辐射镀膜玻璃的节能功能源于其对中远红外光的反射,以减少人体的热量通过窗玻璃向外遗失[1～3].根据Kirchhoff定律[4]和Drude理论[5],薄膜在中远红外区光反射率与其电学性能密切相关.低电阻率薄膜在中远红外区具有高

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