AlCrON太阳能选择性吸收涂层的制备及性能研究

【摘要】：采用直流反应磁控溅射及空气中300℃热处理法在Cu基底上制备Al Cr ON太阳能选择性吸收涂层。对所制备涂层的光谱选择性吸收性能和热稳定性能进行表征,涂层的吸收比和发射比分别为0.921和0.075。结果表明涂层具有较高的光学性能。另外,空气中300℃、100 h热处理后涂层的光学性能几乎不变,表明该涂层适用于平板太阳集热器。 【作者单位】： 北京市太阳能研究所集团有限公司;北京桑达太阳能技术有限公司;
【关键词】： 太阳选择性吸收涂层 直流反应磁控溅射法 Al Cr ON涂层 热稳定性能
【基金】：北京市科学技术研究院创新团队计划(IG201205N) 北京市科委“阶梯计划”项目(Z121109009212051) 北京市财政项目“创新工程Ⅱ-2”(PXM2013_178102_000007)
【分类号】：TK513.1
【正文快照】： 0引言太阳光谱选择性吸收薄膜是中高温太阳集热器的核心部件,应用高效太阳光谱选择性吸收薄膜是提高光热转换效率的重要途径,因此一直是国内外感兴趣的研究课题。许多国家都在积极研究工艺简单、成本低廉、性能优良、稳定的中高温太阳光谱选择性吸收薄膜。Ni和Cr具有良好的光

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