SMIF/微环境的应用及节能分析

【摘要】：在大面积洁净室内引入SMIF/微环境系统能在更好的满足工艺洁净等级的要求下,起到节能的效果。分析总结了影响SMIF/微环境系统的主要参数以及提出了这些参数的建议取值范围、具体分析了在引入SMIF/微环境系统后所带来的节能效果(通过降低微环境内的风机能耗以及系统内气流组织的优化,其最大节能效果可达60-86%)。 【作者单位】： 东华大学建筑环境与设备工程;上海工程技术大学;
【关键词】： SMIF 微环境 洁净室 洁净标准 电量密度
【分类号】：TN405
【正文快照】： 0引言随着现代半导体工业技术的飞速发展,集成电路的特征尺寸越做越小,这使得微小颗粒物对于半导体硅片的成品率的影响也越来越大,为满足工艺要求需要不断提高室内洁净等级。但是一般的半导体洁净工厂其生产工艺所需的洁净面积往往只占总面的一小部分,因而采用提高整个厂房的

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