磁控溅射制备Ti-O-N选择性太阳能吸收涂层

【摘要】：太阳能集热器是太阳能热水器的核心部件,平板集热器可以作为建筑材料与建筑完美融合,满足城市对太阳能的利用与建筑一体化的要求.本论文用中频磁控溅射技术制备用于平板集热器的Ti-O-N选择性吸收涂层.用XRD、SEM及红外反射测试研究工艺参数对吸收涂层结晶质量、形貌及反射率的影响.设置镀膜过程中气压分别为0.8Pa、1.2Pa和2.0Pa而其他参数不变,制备出不同气压条件下的Ti-O-N选择性吸收涂层,通过分析样品的表面形貌及红外反射率来研究镀膜过程中气压对涂层质量的影响.实验表明,气压越低,所镀的薄膜颗粒越致密均匀,薄膜表面越光滑,薄膜的集热效率越高,即涂层的质量越好. 【作者单位】： 岭南师范学院物理科学与技术学院;
【关键词】： 中频磁控溅射 真空镀膜 集热器 Ti-O-N选择性吸收薄膜
【基金】：湛江市科技计划支持项目(201010101)
【分类号】：TK513.1;TB383.2
【正文快照】： 1引言太阳能光谱选择性吸收薄膜是太阳能光热转换中极为重要的关键材料,它直接影响着太阳能热水器的集热效率和生产成本.作为光热转换材料,一方面要求对太阳能的吸收越多越好,另一方面要求发出的热辐射越少越好,也就是说要有一定的选择性.选择性薄膜的吸收光谱与太阳发射光谱

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

太阳光热转换吸收薄膜制备方法:现状与发展    蒋家兴;赵剑曦;姜蓉;

氮化钛太阳光谱选择性吸收薄膜研究进展    付淑英;钟炜;

中频磁控溅射制备GaN薄膜    丁咚;阴明利;邹长伟;郭立平;付德君;

平板集热器和真空管集热器各自特点分析    庄长宇;刘桂永;姜立军;郭延隆;

太阳能热水系统与建筑一体化的实践与思考    张全华;

中国太阳能热利用发展:前景与挑战    胡润青;

GaN薄膜制备技术的研究进展    赵丹;梁建;赵君芙;马淑芳;张华;许并社;

甘肃省太阳能资源特征及光热应用潜力分析    刘孝敏;刘叶瑞;谢伟雪;杨一栋;

太阳能集热器研究进展    朱冬生;徐婷;蒋翔;黄银盛;漆小玲;

浅析太阳能热水器建筑一体化    刘黔蜀;张树立;

石墨烯作太阳电池透明电极的研究进展    章海霞;闫辉;王永祯;许并社;

表面多孔化材料的光热吸收特性    崔霞;华小珍;欧阳德来;

太阳能光热转化选择性吸收涂层研究进展    熊德华;陈炜;李宏;

微结构对太阳能选择性吸收薄膜性能的影响    杨娟;范真;

Dispersion stabilization of antimony-doped tin oxide(ATO)nanoparticles used for energy-efficient glass coating    Ning Li;Qinglin Meng;Nan Zhang;

陶瓷太阳能板换热CFD初步研究    赵会刚;徐俊芳;

窗用透明隔热材料第一原理性能预测及纳米LaB_6分散液的制备与性能    肖立华

三套管蓄能型热泵集成系统运行特性研究    牛福新

纳米半导体中的多重激子效应及其应用    苏未安

可高效利用太阳光谱的ZnO透明导电薄膜研究    王延峰

大面积氧化物薄膜材料的微纳结构可控制备与性能调控技术    高倩

纳米半导体氧化物和热敏聚合物微凝胶的可控制备及光电应用    王密

PET基柔性太阳能电池薄膜电极的制备及其光电转换性能的研究    王薇

供体—受体型共轭聚合物在电致变色器件中的应用    杜青

单靶磁控溅射制备CIGS太阳能电池材料的研究    孔慧

基于表面等离激元的微纳光子器件设计    张璇如

GaN纳米材料的CVD制备与研究    赵丹

碳化物金属陶瓷太阳能选择性吸收涂层制备工艺及性能的研究    陈伟

碳化物金属陶瓷太阳能选择性吸收涂层结构设计及性能研究    高荣义

太阳光谱选择性吸收复合涂层的制备与性能研究    万倩

Cr_2O_3太阳能选择性吸收薄膜的制备与研究    王珂

太阳能热泵采暖系统的研究    甘建红

太阳能涂层光谱发射率测量仪的研制    张琴

SS-O太阳光谱选择性吸收表面的研究    吴克

氮化铝掺铁薄膜的制备及彩色太阳能选择性吸收薄膜的设计    郑明志

生物质锅炉辅助太阳能供热采暖系统的研究    李宁

TiN类薄膜的激光化学气相沉积    张鸿俭,冯钟潮,张鹤

电化学表面技术在太阳能热转换中的应用    陈延禧,韩佐青,王士逯

太阳能吸热涂层的研究现状    苏畅,邓纶浩,何柳

确定薄膜厚度和光学常数的一种新方法    沈伟东,刘旭,叶辉,顾培夫

倾斜沉积“雕塑”薄膜结构参数优化分析    齐红基;王晴云;肖秀娣;易葵;贺洪波;范正修;

直流磁控溅射沉积含He钛膜的研究    施立群,金钦华,刘超卓,徐世林,周筑颖

中高温太阳光谱选择性吸收涂层的研究进展    李金花,宋宽秀,王一平

建筑与太阳能技术一体化设计    刘闽敏;金晓东;

太阳能选择性吸收涂层    胡万里,李长友

工艺参数对磁控溅射金属化薄膜性能的影响    马元远;王德苗;金浩;郑建潮;

磁控溅射钛膜的沉积过程及表面形貌研究    李丽;吴卫;金永中;于越;

磁控溅射功率对掺铝氧化锌薄膜特性的影响    肖立娟;李长山;郝嘉伟;赵鹤平;

S—枪磁控溅射源的研制及其特性    杨占文，李自鹏，刘福侠

低能量粒子磁控溅射沉积薄膜的蒙特卡罗模拟    张德新,邹卫东

磁控溅射制备低应力金属膜的工艺研究    张龙,朱健,吴璟,卓敏,陈辰

磁控溅射离子镀膜组织与相结构研究    王斐杰,陈宝清,王家祥,牛铁永,王玉魁,朱英臣

磁控溅射磁性薄膜成分含量和均匀性控制    祝要民,李晓园,宋晓平,陈强

铁氧体基材上磁控溅射可焊性薄膜    张晔;胡江华;

磁控溅射Y薄膜对钆中N、O含量的影响    李里;李国玲;韩丽辉;李星国;

磁控溅射与离子镀技术在高分子核孔膜中的沉积形貌研究    梁爱凤;杨化伟;王宇钢;

多弧-中频磁控溅射沉积Ti-Si-N结构与性能    杨种田;杨兵;周霖;刘传胜;叶明生;付德君;

影响磁控溅射均匀性的因素    王军生;童洪辉;赵嘉学;韩大凯;戴彬;

磁控溅射方法制备含氦钛膜及氦的热解吸研究    郑华;刘实;于洪波;王隆保;施力群;刘超卓;

磁控溅射制备低应力金属膜的工艺研究    张龙;朱健;吴璟;卓敏;陈辰;

三种中频对靶磁控溅射类金刚石膜的性能比较    王成彪;于翔;刘阳;于德洋;吕建国;

三种中频对靶磁控溅射类金刚石膜的性能比较    王成彪;于翔;刘阳;于德洋;吕建国;

磁场强度对磁约束磁控溅射源工作状态的影响    袁渊明;弥谦;潘婷;

磁控溅射中电磁场分布及带电粒子运动的模拟与计算    刘珍;王君;陈长琦;陈明;

磁控溅射靶优化设计及其磁场分析    刘瑞鹏;李刘合;

借双慧眼看车膜（下）    本报记者 杨景定

磁控溅射SiC薄膜制备及其场发射相关性能研究    魏艳君

辐照损伤材料的实验模拟研究：含氦薄膜制备及MAX相材料离子辐照行为    张磊

极紫外和软X射线窄带多层膜的研究    吴文娟

磁控溅射制备ZnO及其掺Al薄膜与MSM紫外光电探测器的研制    吴跃波

不同溅射方法薄膜制备的理论计算及特性研究    于贺

铪基高K及更高K氧化物在Si及InP上的沉积和性能研究    杨萌萌

利用磁控溅射制备薄膜的研究    乔爱肖

高功率脉冲非平衡磁控溅射法制备CrN_x膜和Cu膜及其沉积特性的研究    牟晓东

中频孪生磁控溅射等离子体特性与氧化物薄膜沉积研究    黄开玉

磁控溅射等离子体靶粒子输运过程研究    高艳芬

磁控溅射装置中电磁场分布及粒子运动行为的计算分析    刘珍

基片下外加磁场磁控溅射方法的研究    赵新民

磁控溅射制备稀土激活功能性抗菌纺织材料的研究    赵晓燕

W/B_4C多层膜制备与表征的研究    代敏

外加磁场对平面磁控溅射的影响    朱炎

高功率复合脉冲磁控溅射放电特性及氮化物薄膜制备    段伟赞