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冶金法制备太阳能级多晶硅工艺技术研究

来源:论文学术网
时间:2024-08-18 13:36:15
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冶金法制备太阳能级多晶硅工艺技术研究【摘要】:以纯度99%的工业硅为原料,通过造渣熔炼、电子束炉真空熔炼和定向凝固手段进行了太阳能级多晶硅制备的研究。结果表明:通过造渣熔炼、电子束

【摘要】:以纯度99%的工业硅为原料,通过造渣熔炼、电子束炉真空熔炼和定向凝固手段进行了太阳能级多晶硅制备的研究。结果表明:通过造渣熔炼、电子束炉熔炼、两次定向凝固的工艺成功地将工业硅中的总杂质含量(质量分数)降到了1 ppm以下,其中B低于0.3 ppm、P低于0.5 ppm、总金属杂质含量TM低于0.2 ppm、C浓度低于5×1016atoms/cm3、O浓度低于1.0×1017atoms/cm3,产品达到太阳能级多晶硅标准。与国内外已公布的冶金法制备太阳能级多晶硅工艺流程相比,本工艺未采用酸洗,清洁高效,没有任何污染。 【作者单位】: 昆明贵金属研究所;
【关键词】工业硅 造渣 电子束熔炼 定向凝固
【基金】:云锡集团科技计划项目基金资助(2010-31A-03)
【分类号】:TN304.12
【正文快照】: 多晶硅是制备太阳能电池的原材料,是全球光伏产业的基石。目前,世界上75%的多晶硅都是采用西门子法工艺生产的,其关键技术主要掌握在美国、日本、德国以及挪威等国家的几个主要生产厂商中,形成技术封锁和垄断。而冶金法是将工业硅在不改变硅的本质状况下,采用精炼、湿法、真空

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