一种高效节能的超细高纯硅微粉生产工艺

【摘要】：从超细磨技术、分级技术、超细粉体的脱水与干燥等方面介绍了一种高效节能的超细高纯硅微粉生产工艺,该工艺可以大大减少能耗,生产出符合市场要求的高附加值超细高纯硅微粉产品。 【作者单位】： 中蓝连海设计研究院;
【关键词】： 超细高纯硅微粉 高速双向碰撞球磨机 液体均衡分离技术 真空振荡脱水
【分类号】：TQ127.2
【正文快照】： 0引言随着科学技术的不断发展,超细高纯硅微粉的用途越来越广泛,尤其是用作大型集成电路密封用环氧塑封料的填充材料的10~0μm粒级高纯SiO2,因为其具有高介电、高耐热、高耐湿、高填充量、低膨胀、低应力、低杂质等优越性能而具有更为广阔的发展前景。超细高纯硅微粉的生产,

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