电子级六氟乙烷的色谱分析

【摘要】：本文使用氦离子化色谱仪对电子级六氟乙烷进行分析,结果显示本实验方法很好的实现了电子级六氟乙烷杂质的色谱全分析,并且为建立电子级六氟乙烷标准提供实验基础。 【作者单位】：上海华爱色谱分析技术有限公司 西南化工研究设计院有限公司
【关键词】：气相色谱仪 电子工业气体 电子级六氟乙烷 氦离子色谱法
【分类号】：O657.7;TQ222.23
【正文快照】： 六氟乙烷又称全氟乙烷,是乙烷中六个氢原子全部被氟原子取代后的产物,其又名氟碳116,CAS编号为76-16-4。六氟乙烷为无色无嗅无味不可燃的无毒气体,比空气重得多,基本不溶于水,微溶于醇,其物理化学性质稳定。六氟乙烷主要应用在低温制冷与电子清洗及蚀刻行业,另外少部分应用在

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