首页 > 学术论文

单源真空共蒸发制备CuInS_2光伏薄膜

来源:论文学术网
时间:2024-08-19 04:19:20
热度:

单源真空共蒸发制备CuInS_2光伏薄膜【摘要】:单源真空共蒸发制备CuInS2薄膜,氮气保护对薄膜进行适当的热处理。研究不同Cu、In、S元素配比和热处理条件对薄膜性能的影响。采

【摘要】:单源真空共蒸发制备CuInS2薄膜,氮气保护对薄膜进行适当的热处理。研究不同Cu、In、S元素配比和热处理条件对薄膜性能的影响。采用X射线衍射仪、原子力显微镜、场发射扫描电子显微镜、光电子能谱仪、手动轮廓仪、双光束紫外-可见分光光度计、四探针测试仪等对薄膜的晶相结构、表面形貌及粗糙度、化学成分、膜厚、光、电性能等进行测试表征。 实验给出蒸发用的Cu、In、S混合粉末中S原子比X的选择极为重要(实验选0.2≤X≤2),本研究中最好的混合粉末原子配比为1∶0.1∶1.2,可制出黄铜矿结构的CuInS2多晶薄膜。热处理前,CuInS2薄膜结晶状况较差含有Cu1.7In0.05S的混合相,经400℃热处理20min后,薄膜的微结构明显得到改善。薄膜沿[112]晶向择优生长,平均晶粒尺寸38.06nm,厚度454.8nm,表面平整致密,表面算术平均粗糙度13nm。CuInS2薄膜表面与体内元素的Cu、In、S化学计量比分别为1∶2.4∶1和1∶0.9∶1.5,偏离标准化学计量比约3.2%和0.8%。CuInS2薄膜的光吸收系数105cm-1,直接光学带隙1.42eV,导电类型P型,电阻率4.8×10-2Ω·cm。 当热处理温度升到440℃,处理10min,CuInS2薄膜的晶相结构不变,表面及体内元素的化学计量比增大,比标准偏离约8.8%、3.3%,分别为1∶6.2∶0.6和1∶2.3∶0.8。因晶格中间隙In的出现使薄膜的导电类型变成N型。薄膜的光吸收系数降至104cm-1,光学带隙变窄为1.39eV、电阻率1.3×10-2Ω·cm。 【关键词】:单源真空共蒸发 CuInS_2薄膜 热处理 薄膜特性
【学位授予单位】:内蒙古大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2011
【分类号】:O484.1
【目录】:
  • 摘要5-7
  • ABSTRACT7-10
  • 第一章 引言10-18
  • 1.1 研究背景10-12
  • 1.2 CuInS_2的基本性质12-14
  • 1.3 CuInS_2薄膜的制备方法14-17
  • 1.4 本研究的意义与内容17-18
  • 第二章 实验18-22
  • 2.1 实验、测试设备及化学药品18-19
  • 2.2 薄膜的制备19-22
  • 第三章 结果与讨论22-38
  • 3.1 CuInS_2薄膜的物相结构表征22-25
  • 3.2 CuInS_2薄膜的化学组成分析25-31
  • 3.3 CuInS_2薄膜的表面形貌31-33
  • 3.4 CuInS_2薄膜的光学特性33-36
  • 3.5 CuInS_2薄膜的电学特性36-38
  • 结论38-39
  • 参考文献39-43
  • 致谢43-44
  • 攻读硕士期间发表的学术论文44
  • 硕士期间参加的科研课题44


您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

太阳能电池材料CuInS_2的研究现状    汤会香,严密,张辉,杨德仁

硫分压对光吸收层CuInS_2薄膜性能的影响    阎有花;刘迎春;方玲;卢志超;周少雄;李正邦;

离子层气相反应法制备CuInS_2半导体薄膜(英文)    钱进文;靳正国;邱继军;刘志锋;

热处理对化学水浴沉积法制备的CuInS_2薄膜的影响    汤会香,严密,张辉,杨德仁

离子层气相反应法(ILGAR)制备CuInS_2薄膜的研究    邱继军,靳正国,钱进文,石勇,武卫兵

SILAR法制备化学计量CuInS_2薄膜    石勇,靳正国,李春艳,安贺松,邱继军

CuInS_2:两步电沉积制备及性能    刘小雨;王广君;田宝丽;余腊锋;张兴堂;杜祖亮;

电沉积/硫化法制备CuInS_2薄膜微结构研究    阎有花;刘迎春;方玲;李德仁;卢志超;周少雄;李正邦;

单步电沉积法制备CuInS_2薄膜    李娟;莫晓亮;孙大林;陈国荣;

CuInS_2薄膜太阳能电池    周少雄;方玲;

金属薄膜的质量造成电阻器失效的分析    金力成;金波;

La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3外延膜厚度引起的电阻率变化    孟影;金绍维;

低翘曲度ITO透明导电膜玻璃的工艺研究    闫金良

PECVD法低温形成SiO_xN_y介质膜的俄歇电子能谱和红外吸收光谱分析    陈蒲生,张昊,冯文修,刘剑,刘小阳,王锋

(Bi,Yb)_4Ti_3O_(12)铁电薄膜的制备    成传品;唐明华;叶志;钟向丽;郑学军;周益春;

真空蒸镀太安成膜机理分析    李伟,李国新,焦清介,刘淑珍

AlN薄膜的研究进展    杨克涛,陈光辉

陶瓷分离膜的制备、过滤机理和应用研究    谢明强;魏晓伟;

制备参数对TbFeCo磁光薄膜性能的影响    张勇;张晋敏;田华;

计量光栅盘真空镀铬机理与工艺研究    陈赟;王晓峰;李艳茹;

防水透湿织物上碳氟膜的纳米结构及均匀性的初步研究    王东;路建军;齐宏进;

磁控溅射制备类金刚石膜生物材料的工艺与性能的研究    杨云志;冉均国;郑昌琼;

不同溅射气压对β-FeSi_2形成的影响    曾武贤;谢泉;梁艳;张晋敏;肖清泉;杨吟野;任学勇;

铜铟硒(CIS)薄膜太阳能电池吸收层的硒化工艺优化研究    王波;刘平;李伟;刘新宽;马凤仓;陈小红;

黄铜矿硫化焙烧浸溶制备纳米CIO粉    宋宁;戴永年;杨斌;马文会;刘大春;徐宝强;姚云;

ZnS-CuInS_2制备新方法及其光催化解水产氢性能研究    郭鹏慧;郭烈锦;

管径对碳纳米管膜激活能的影响    韩向宇;张祖伟;胡陈果;

超薄铝膜的制备与透光率的研究    付光宗;杨丰帆;杨小红;廖克俊;刘高彬;

硫属化合物纳米材料的可控性合成与表征    周红洋

面向微波应用的铊系高温超导薄膜研究    游峰

小颗粒CoPt单层和双层垂直磁记录介质研究    汤如俊

ZnO薄膜的表面形貌与应力特性研究    刘云燕

FeS_2及FeS_2/TiO_2复合薄膜的制备与光电性能研究    黄六一

太阳能电动车关键技术研究    李春芳

基于酞菁铜的太阳能电池的研究    刘一婷

纳米Ta基阻挡层的制备及性能研究    李幼真

金属钛膜中氢对氦行为作用和影响的研究    鲁永芳

Fe基双相纳米复合材料的制备与高频性能的研究    张丽

900nm~1100nm抗激光损伤高反射膜的研究    赵缨慰

辐射桥面发射激光器工艺与测试    王博

非晶InSb探测器材料光电特性研究    位永平

太阳能电池用α-SiC_x:H薄膜的制备与性能研究    张瑞丽

折射率调制光纤气体传感系统设计与研究    贾林涛

基于LPFGs氢敏探测器的研究    郭东歌

BDT铁电薄膜和ZnO纳米带压电性能的测试与表征    荣英凤

IC互连碳纳米管关键技术研究    许旺

适于SAW器件“AlN/硅”“AlN/金刚石”多层膜制备及结构性能研究    纪红

CPA型磁控溅射设备靶改进及磁场模拟分析研究    方雪冰

衬底对Cu(In,Ga)Se_2薄膜织构的影响    李微;敖建平;何青;刘芳芳;李凤岩;李长健;孙云;

蒸发条件对碘化铅多晶薄膜结构的影响    李玉红;贺德衍;张宇;李振生;

Glan-Taylor棱镜端面增透膜的研制    赵培;吴福全;郝殿中;王礽;任树锋;

化学氧碘激光器中的角立方反射器的研制    李刚;公发全;刘万发;孙龙;孙连春;

沉积温度对氧化钇稳定氧化锆薄膜残余应力的影响    肖祁陵;贺洪波;邵淑英;邵建达;范正修;

磁性液体薄膜的折射率在外加磁场作用下的变化特性研究    陈善飞;王正良;陆樟献;

不同沉积速率下热蒸发银膜的光学性能和结构分析    卢宝文;徐学科;余祥;范正修;

SPR传感器理论模型的仿真研究    刘国华;张维;牛文成;

薄膜光学 光学薄膜参数测试    

CdTe多晶薄膜沉积制备及其性能    郑华靖;郑家贵;冯良桓;谢二庆;

基于模拟退火算法的宽角度X射线超反射镜设计研究    程鑫彬;王占山;张众;王风丽;王洪昌;陈玲燕;

Wollaston棱镜宽带减反射膜的研制及测试    郝殿中;吴福全;宋连科;马丽丽;张旭;闫斌;

共蒸发法制备的Cd_(1-x)Zn_xTe薄膜性能研究    邵烨;郑家贵;张静全;冯良桓;蔡伟;武莉莉;蔡亚平;黎兵;

明胶辅助CuInS_2纳米粒子的绿色合成    李向清;尹蝶儿;杨帆;康诗钊;穆劲;

100keV质子辐照ITO薄膜微观机制与光学性能的研究    魏强;刘圣贤;王丹;刘海;

投影光路中二向分色镜工作状态的理论分析    陆巍;郑臻荣;顾培夫;管爱枝;

界面连续性对薄膜节瘤损伤特性的影响研究    何文彦;程鑫彬;马彬;丁涛;叶晓雯;张锦龙;张艳云;焦宏飞;

金属-氧化铝纳米阵列偏振特性的入射角度效应    吴福全;唐恒敬;

CuInS_2量子点的制备及在量子点敏化太阳电池中的应用    万青翠;梅凤娇;徐雪青;徐刚;

简易的方法合成无机配体介导的CuInS_2纳米晶    何敬敬;周文辉;武四新;

水溶液合成CuInS_2纳米晶及其在太阳能电池上的应用    焦杰;周文辉;武四新;

CuInS_2量子点的水相合成及其在敏化太阳能电池中的应用    胡星;张全新;黄小铭;李冬梅;罗艳红;孟庆波;

天津薄膜光学重点实验室成立    记者刘其丕 李晓飞

采光量可调门窗    石德

昆仑集团包装公司 首批BOPP仿纸膜下线    记者 付雪

水晶光电定向增发募资投入三项目    证券时报记者 李坤

太阳电池材料CuInS_2薄膜及其纳米棒阵列研究    王震东

用于太阳电池的硫化物半导体薄膜的溶液法制备及其性能研究    高超

BiFeO_3外延薄膜电容器与异质结的制备和性能研究    焦兴利

氧化钛薄膜的制备、微结构及特性研究    居勇峰

N掺杂p型Mg_xZn_(1-x)O薄膜的制备及相关问题的研究    高丽丽

锂氢同位素化合物性质的理论研究及其薄膜的制备    雷洁红

金属墨水法制备CuInS_2薄膜及太阳电池    陈官璧

In掺杂ZnO薄膜的制备与特性研究    彭丽萍

ZnO薄膜的表面形貌与应力特性研究    刘云燕

溶胶—凝胶法制备Na掺杂ZnO薄膜的微结构及其性能表征    吕建国

单源真空共蒸发制备CuInS_2光伏薄膜    谢俊叶

化学沉积法制备CuInS_2薄膜及性能研究    黄灿领

钛化物节能薄膜的制备及其光电性能研究    吴玲

氮化物薄膜的制备及其结构与性能研究    杨磊

硅基二氧化铈薄膜的脉冲激光制备及性能研究    陈勇

颗粒硫化法制备硫化物薄膜及其光伏应用    常兰涛

掺硼富硅氧化硅薄膜光电性能的研究    陈乐

电子束蒸发沉积重掺硅薄膜及其应用    李向明

半导体氧化铁薄膜的制备、表征及光伏特性研究    孙新利

掺杂及不同衬底对Sn_2S_3薄膜特性影响    王艳