金属有机半导体复合薄膜的横向光伏效应
金属有机半导体复合薄膜的横向光伏效应【摘要】:近几年来,在许多类似MS/MOS(金属-半导体结和金属-氧化物-半导体结)的样品中发现了较大的横向光伏效应(Lateral Photo
【学位授予单位】:复旦大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2012
【分类号】:TN304.5
【目录】:
- 目录2-4
- 摘要4-5
- Abstract5-6
- 第一章 前言6-15
- 1.1 横向光伏效应6-9
- 1.1.1 横向光伏现象6
- 1.1.2 不同结构器件中的横向光伏效应6-9
- 1.2 有机半导体9-14
- 1.2.1 有机半导体的能带结构10
- 1.2.2 有机小分子材料10-12
- 1.2.3 有机薄膜电子器件的异质结12-14
- 1.3 复合颗粒薄膜14
- 1.4 本文主要研究内容14
- 1.5 小结14-15
- 第二章 横向光伏效应的原理15-25
- 2.1 P-N结的横向光伏效应15-18
- 2.1.1 P-N结的结构简介15-16
- 2.1.2 P-N结的横向光伏物理机制16-18
- 2.2 金属半导体结(MS)的横向光伏效应18-20
- 2.2.1 金属半导体结(MS)介绍18
- 2.2.2 金属半导体结(MS)的横向光伏物理机制18-20
- 2.3 金属氧化物半导体(MOS)结的横向光伏效应20-22
- 2.3.1 金属氧化物半导体结构简介20
- 2.3.2 金属氧化物半导体结构(MOS)的横向光伏物理机制20-22
- 2.4 基于横向光伏效应的位置灵敏传感器的应用22-24
- 2.4.1 位移测量22-23
- 2.4.2 光电自准直仪23
- 2.4.3 二维 PSD23-24
- 2.5 小结24-25
- 第三章 样品的制备与测试25-35
- 3.1 真空镀膜实验设备25-29
- 3.1.1 真空蒸镀系统25-26
- 3.1.2 分子束束源炉26-27
- 3.1.3 有机材料蒸发源27-28
- 3.1.4 氮气手套箱28
- 3.1.5 超声波清洗机28-29
- 3.1.6 晶振膜厚显示仪29
- 3.2 样品的制备工艺29-33
- 3.2.1 实验材料的介绍30-31
- 3.2.2 样品制作过程31-33
- 3.3 样品的测试33-34
- 3.3.1 样品的测试方法33
- 3.3.2 测量实验所需器材33-34
- 3.4 小结34-35
- 第四章 Si/SiO_2/Al结构的横向光伏效应35-44
- 4.1 Si/SiO_2/Al结构的制备与测试35-36
- 4.2 Si/SiO_2/Al结构中的横向光伏效应36-37
- 4.3 Si/SiO_2/Al结构中金属层厚度对横向光伏效应的影响37-41
- 4.4 Si/SiO_2/Al结构中Si衬底对横向光伏效应的影响41-43
- 4.5 小结43-44
- 第五章 基于Si衬底的金属有机半导体颗粒膜的横向光伏效应44-60
- 5.1 基于Si衬底的Al-Alq_3薄膜的横向光伏效应44-51
- 5.1.1 Si/SiO_2/Al-Alq_3结构的制备和测试44-45
- 5.1.2 Si/SiO_2/Al-Alq_3结构的横向光伏效应45-47
- 5.1.3 Si/SiO_2/Al-Alq_3结构中Al含量与横向光伏效应的关系47-50
- 5.1.4 Si/SiO_2/Al-Alq_3结构中Si衬底对横向光伏效应的影响50-51
- 5.2 基于Si衬底的Co-Alq_3薄膜的横向光伏效应51-57
- 5.2.1 样品的制备与微结构51-52
- 5.2.2 Si/SiO_2/Co-Alq_3结构的横向光伏效应52-53
- 5.2.3 Si/SiO_2/Co-Alq_3结构中氧化层对横向光伏效应的影响53-57
- 5.3 基于Si衬底的Al-TPD薄膜的横向光伏效应57-59
- 5.4 小结59-60
- 参考文献60-65
- 研宄生期间发表的论文65-66
- 致谢66-67
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