磁控溅射法制备CIGS薄膜光伏电池Mo背电极的研究
磁控溅射法制备CIGS薄膜光伏电池Mo背电极的研究【摘要】:铜铟镓硒(简称CIGS)薄膜太阳电池凭借其光电转换效率高、无衰退、性能稳定、成本低廉等特点备受人们瞩目,是一种最具有发展
【学位授予单位】:大连工业大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2013
【分类号】:TM914.4;TB383.2
【目录】:
- 摘要4-5
- Abstract5-10
- 第一章 绪论10-12
- 第二章 文献综述12-25
- 2.1 太阳电池简介12-15
- 2.1.1 太阳电池的种类13-15
- 2.1.1.1 硅系太阳电池14
- 2.1.1.2 化合物薄膜太阳电池14-15
- 2.1.1.3 纳米晶薄膜太阳电池15
- 2.1.1.4 有机薄膜太阳电池15
- 2.2 CIGS薄膜太阳电池简介15-19
- 2.2.1 CIGS薄膜太阳电池结构及工作原理16-17
- 2.2.2 CIGS薄膜太阳电池的国内外研究进展17-19
- 2.3 CIGS薄膜电池背电极材料介绍19-20
- 2.4 CIGS薄膜电池背电极的制备工艺20-23
- 2.4.1 化学气相沉积20-21
- 2.4.2 电子束蒸发21
- 2.4.3 溅射沉积法21-23
- 2.4.3.1 磁控溅射法原理及特点21-23
- 2.5 国内外背电极Mo薄膜的研究现状23
- 2.6 课题研究目的及创新点23-25
- 第三章 实验部分25-30
- 3.1 实验药品和实验仪器设备25-26
- 3.2 玻璃基底的清洗26
- 3.3 Mo薄膜背电极的制备26-28
- 3.4 Mo薄膜的分析测试方法28-30
- 3.4.1 Mo薄膜的物相结构分析28
- 3.4.2 Mo薄膜的微观形貌分析28
- 3.4.3 Mo薄膜的光学性能测试28-29
- 3.4.4 Mo薄膜的电学性能测试(方块电阻测试)29-30
- 第四章 结果与讨论30-52
- 4.1 靶材原料分析30-32
- 4.1.1 靶材原料的XRD30-31
- 4.1.2 靶材的表面形貌31-32
- 4.2 双极脉冲磁控溅射制备Mo薄膜的结构及性能分析32-43
- 4.2.1 溅射时间对Mo薄膜的影响32-35
- 4.2.1.1 不同溅射时间下Mo薄膜的沉积速率32-33
- 4.2.1.2 不同溅射时间下Mo薄膜的结构分析33-34
- 4.2.1.3 不同溅射时间下Mo薄膜的光学性能分析34
- 4.2.1.4 不同溅射时间下Mo薄膜的电学性能分析34-35
- 4.2.2 衬底温度对Mo薄膜的影响35-39
- 4.2.2.1 不同衬底温度下Mo薄膜的沉积速率35-36
- 4.2.2.2 不同衬底温度下Mo薄膜的微观形貌36
- 4.2.2.3 不同衬底温度下Mo薄膜的结构分析36-37
- 4.2.2.4 不同衬底温度下Mo薄膜的光学性能分析37-38
- 4.2.2.5 不同衬底温度下Mo薄膜的电学性能分析38-39
- 4.2.3 溅射功率对Mo薄膜的影响39-43
- 4.2.3.1 不同溅射功率下Mo薄膜的沉积速率39-40
- 4.2.3.2 不同溅射功率下Mo薄膜的形貌40
- 4.2.3.3 不同溅射功率下Mo薄膜的结构40-42
- 4.2.3.4 不同溅射功率下Mo薄膜的光学性能42
- 4.2.3.5 不同溅射功率下Mo薄膜的电学性能42-43
- 4.3 中频磁控溅射制备Mo薄膜的结构及性能分析43-52
- 4.3.1 溅射功率的影响43-47
- 4.3.1.1 不同溅射功率下Mo薄膜的沉积速率43-44
- 4.3.1.2 不同溅射功率下Mo薄膜的微观形貌44
- 4.3.1.3 不同溅射功率下Mo薄膜的的晶体结构44-46
- 4.3.1.4 不同溅射功率下Mo薄膜的光学性能46-47
- 4.3.1.5 不同溅射功率下Mo薄膜的电学性能47
- 4.3.2 工作气压的影响47-52
- 4.3.2.1 不同工作气压下Mo薄膜的沉积速率47-48
- 4.3.2.2 不同工作气压下Mo薄膜的微观形貌48-49
- 4.3.2.3 不同工作气压下Mo薄膜的晶体结构49-50
- 4.3.2.4 不同工作气压下Mo薄膜的光学性能50-51
- 4.3.2.5 不同工作气压下Mo薄膜的电学性能51-52
- 第五章 结论52-53
- 参考文献53-57
- 致谢57-58
- 附录A 攻读硕士期间发表的论文及成果58
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