光伏HgCdTe混合焦平面列阵的性能

【摘要】：第二代红外成象系统要求高密度的焦平面列阵便于凝视成象应用。为满足此需要,研制了光电二极管HgCdTe探测器和信号处理Si—CCD器件相组合的焦平面结构。通常用的离子注入混合列阵与CCD多路传输器虽然已成功地实现互连,但是用液相外延(LPE)层制备的混合列阵在性能、信号处理和输出效率方面具有独特的优点。采用富汞LPE技术制备的异质结二极管,其性能优于一般的离子注入器件。这种器件的面电阻高,组分均匀性好。本文就8—12μm和3—5μm波段范围所用器件的制备情况作简要介绍。 【关键词】： 焦平面列阵 光电二极管 异质结二极管 硼离子注入 光伏 性能 列阵器件 信号处理 探测器 混合
【正文快照】： 者只引言 ·光伏Hg剑刃。租混合率毛平面列阵(HF尸月)“技禾的录新发展使得这类密件的性能大大提高。本文简要地介绍圣巴巴拉研究中心(SBRC)研制光伏Hg:_。CdoTe凝视月尹尸月的一些进展情况。 混合焦平而列阵器件是将优质的HgCdT。光电二极管和可靠性高的32x32元直接注入Sf,C

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