InSb光伏探测器钝化对电学性能的影响
InSb光伏探测器钝化对电学性能的影响【摘要】:实验以阳极氧化法在0.1MKOH溶液中钝化InSb光伏探测器,测量器件钝化前后电学性能的变化。结果表明,器件经钝化后,反向阻抗普遍提
【关键词】: 光伏探测器 电学性能 器件表面钝化 俄歇电子能谱仪 保护器件 表面漏电 阳极氧化法 敏感面 沟道效应 反型层
【正文快照】: 一、前 .-j-. ..... ..... 】二, 锑化锢是一种金属间化合物半导体,是制备红外探测器的主要材料。然而,在锑化锢光伏探测器研制过程中,存在着敏感面扩大问题和偏低的零偏压电阻。特别是器件表面对外界气氛(如各种离子和气体)极为敏感,吸附分子,原子和离子时会产生表面势垒,影
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