2.35μm碲镉汞光伏探测器离子注入工艺研究

【摘要】：利用p型Hg_(1-x)Cd_xTe(或简称MCT)组分x=0.44体晶材料,研究了B~+离子注入平面工艺制备2.35μm截止波长12元双线列光伏探测器。探测器主要性能D_λ~平均达4.4×10~(11)cmHz~(1/2)W,λ_p、λ_c比波段要求平均低约3.2％和5.1％。 【作者单位】：
【关键词】： 碲镉汞 离子注入 探测器 工艺——研究
【正文快照】： 引言 利用离子注入MCT工艺制备光伏探测器,越来越受各国的重视。目前,国内外大多制备8一14帅长波红外探测器,而对1一3om、3~5帅红外探测器研究较少,由于采用热扩散、台面工艺存在较多问题,采用离子注入工艺较易达到要求。二、离子注入理论(一)离子注人的射程、浓度分布 根据

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