应用光伏方法测定P型半导体表面性质

【摘要】：本文报道了应用变温光伏方法对半导体表面能级,表面态密度的非破坏性测量原理。通过一定的模型简化,将Shockly-Read体复合理论应用于表面,建立起P型半导体表面态对少子电子的俘获截面估算公式。并以P型Si单晶样品进行验证,所得结果同有关报道一致。 【作者单位】： 厦门大学物理学系
【关键词】： 变温光伏方法 P型半导体 表面性质
【基金】：国家自然科学基金
【正文快照】： 半导休的表面性质对于半导体器件尤其是表面器件性能的影响特别敏感.测定半导体表面性质可以有场效应、接触势等方法,而对于表面光伏方法,由于它在强反型或强积累情况下,对表面态是不敏感的,使它在表面性质研究领域中的应用受到一定的限制,而只有对于例如表面耗尽的情况,每个

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