浅结硅光伏电池光响应特性实验研究

【摘要】：实验研究了电子束辐照诱导半导体掺杂技术制作的浅结硅光伏电池光响应特性。给出其相对光谱响应和激光感生光电压值。结果表明该器件具有较好的光响应特性。 【作者单位】： 北京大学物理学系 北京大学物理学系 北京大学物理学系
【关键词】： 浅结 硅光伏电池 光响应
【正文快照】： 1引言 光探测器是科学_技术领域基础元器件之一,其中硅光伏电池是经济耐用而应用广泛的应用型器件〔‘,”,但其性能因制备工艺水平不同而差异甚大,而且大规模集成化也较为困难。近年来发展的电子束辐照诱导半导体掺杂技术,成功制作有一种浅结硅光伏电池。它具有接杂时间短、

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