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开管扩锌InP的液结光伏谱和少子扩散长度

来源:论文学术网
时间:2024-08-19 03:48:30
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开管扩锌InP的液结光伏谱和少子扩散长度【摘要】:用电化学液结方法测量了在470℃于氢气氛下开管扩锌InP样品的载流子浓度分布、不同深度的光伏谱和少于扩散长度。结果表明:在扩散区形

【摘要】:用电化学液结方法测量了在470℃于氢气氛下开管扩锌InP样品的载流子浓度分布、不同深度的光伏谱和少于扩散长度。结果表明:在扩散区形成浓度为1017~1018cm-3较平坦的空穴分布;少于扩散长度由衬底的8~10μm降至表面的0.29μm以下;若轻微腐蚀去严重损伤的样品表层,将较大地提高新表层的少子扩散长度。 【作者单位】: 厦门大学物理系 清华大学电子工程系
【关键词】开管锌扩散 InP液结光伏谱 少子扩散长度
【基金】:国家教委留学回国人员研究经费项目,国家自然科学基金
【分类号】:TN405
【正文快照】: 开管扩锌InP的液结光伏谱和少子扩散长度陈朝,王健华MalyshevS.A.AndrlevskiiV.F.(集成光电子学国家重点联合实验室,清华大学实验区(白俄罗斯科学院电子学研究所,明斯克,220841)厦门大学物理系,361005清华大学电子工程系

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