光伏型锑化铟红外探测器量子效率的分析

【摘要】：通过推导、求解光照情况下p~+ -n结的电流连续性方程,得出p~+区和n区量子效率的表达式,并考虑了p~+ -n结耗尽区对器件量子效率的影响,分析了不同的InSb材料参数及工艺参数对Cd~+扩散光伏型InSb器件量子效率的影响。分析结果表明:光伏型锑化铟红外探测器p~+ -n结的扩散结深、光敏面的表面反射系数是影响器件量子效率的主要因素。此项工作的开展对提高InSb光伏器件的性能有一定的理论指导意义。 【作者单位】： 航空工业总公司第○一四中心
【关键词】： InSb 红外探测器 量子效率
【分类号】：TN215
【正文快照】： 1 引 言 众所周知,表征红外探测器性能高低的重要参数之一是探测度D。,而探测度的大小既与零偏结电阻结面积乘积冗。A密切相关,又与量子效率叩密切相关。一方面,在一定的条件下,器件的风A乘积越大,探测度D。也越高,另一方面,为了使器件工作于背景限,器件的R。A乘积也必须足够

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