首页 > 学术论文

HgCdTe光伏器件多层钝化膜等离子体处理的研究

来源:论文学术网
时间:2024-08-19 03:41:36
热度:

HgCdTe光伏器件多层钝化膜等离子体处理的研究【摘要】:在HgCdT e光伏探测器件S iO2+ZnS复合介质膜钝化中,引入O+2清洗和A+r刻蚀两种等离子体处理工艺,大大提高薄

【摘要】:在HgCdT e光伏探测器件S iO2+ZnS复合介质膜钝化中,引入O+2清洗和A+r刻蚀两种等离子体处理工艺,大大提高薄膜附着力,成功制备出优良的光伏器件。对处理前后的样品进行场发射扫描电子显微镜扫描、原子力显微镜扫描和二次离子质谱测试后发现,O+2清洗对去除样品表面的残余光刻胶效果显著;而A r+刻蚀使ZnS表面更为粗糙,增加了成核中心,使S iO2和ZnS表面互相渗透,增强了两层介质膜的附着力。 【作者单位】: 中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室 中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室 中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室 中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室 中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室 中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室 中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室 中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室
【关键词】O+清洗 Ar+刻蚀 钝化 HgCdTe光伏探测器
【分类号】:TN215
【正文快照】: 1引言碲镉汞(HgCdT e)作为一种性能良好的红外探测器材料,以其独特的物理特性和应用潜力而日益引起了人们的广泛关注,成为仅次于S i和G aA s的应用最广的半导体材料。HgCdT e红外探测器主要有两种类型:光导型和光伏型。但不管是光导探测器还是光伏探测器,器件的表面钝化技术

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

SOI材料的制备技术    肖清华,屠海令,周旗钢,王敬,常青,张果虎

金属陶瓷微粒表面金属涂层技术研究的现状及展望    董志红,范洪远,李伟,沈保罗,向文欣,应诗浩

集成电路芯片(IC)压印光固离子刻蚀法研究    段玉岗,丁玉成,卢秉恒,王立永

面向订单的硅材料生产计划自动生成系统    董森华,向采兰,孔玮曼,郝玉清

快速退火气氛对300mm硅片内洁净区和氧沉淀形成的影响    冯泉林;史训达;刘斌;刘佐星;王敬;周旗钢;

溅射法制备纳米薄膜材料及进展    贾嘉

集成电路镍铬薄膜的电阻特性与热处理效应    穆杰,张开方,李玉茹

偏压对多弧离子镀TiN膜层的影响    辛煜,范叔平,宁兆元,杨礼富,薛青,金宗明

AlN陶瓷化学镀法金属化机理    夏章能,徐洁

多孔Al_2O_3薄膜的研制    吴海霞,王占和,李印增

集成电路(IC)压印制造用光固化刻蚀胶的研究    段玉岗;丁玉成;卢秉恒;

N_2、Ar气氛下快速退火处理硅片获得洁净区和氧沉淀的研究    冯泉林;刘斌;肖清华;周旗钢;

溅射工艺对金属Nb薄膜微结构及红外反射特性的影响    周珑;王聪;杜心康;陈步亮;茹宁;王天民;

硅衬底的化学机械抛光工艺研究    谭刚;吴嘉丽;

有机及金属有机材料的三阶非线性光学研究    元以中

红外薄膜系统的设计和制备    王立无

弧辉渗镀技术在镁合金表面形成钛铬薄膜及其耐蚀性能研究    崔彩娥

镁合金AZ91D表面弧辉渗镀TiN、CrN、TiN/CrN薄膜及其性能研究    缪强

透明导电ITO及其复合薄膜的研究    李世涛

氧化钒薄膜及非致冷红外探测器阵列研究    王宏臣

ZnO:Al透明导电薄膜和ZnO发光器件的制备及特性研究    刘维峰

变间距光栅设计、制作及其在位移传感器中的应用研究    楼俊

激光直写光刻技术研究    李凤有

新型MIp~+-Al_(0.3)Ga_(0.7)As/p-n-n~+-GaAs结构太阳电池电子及辐照效应研究    涂洁磊

BET铁电薄膜的MOD法制备及其残余应力的拉曼光谱表征    何林

无取向硅钢绝缘涂层附着性的研究    吴树建

ECR-PECVD法低温沉积Poly-Si薄膜的研究    李伯海

薄膜温度传感器的研制    朱亚民

半绝缘InP单晶的Fe掺杂激活及缺陷研究    苗杉杉

掺氮类金刚石(DLC:N)薄膜的制备及其性能研究    王淑占

激光化学气相沉积光掩模版修复系统的研究    黄河

脉冲激光沉积法制备ZnO薄膜及其光学性质的研究    谢可可

纳米功能薄膜的制备与性能研究    顾铭

等离子化学气相沉积装置的研制及有机磁性薄膜的制备    郑建万

HgCdTe光伏器件多层钝化膜等离子体处理的研究    储开慧;乔辉;汤英文;陈江峰;胡亚春;贾嘉;李向阳;龚海梅;