HgCdTe光伏器件多层钝化膜等离子体处理的研究
HgCdTe光伏器件多层钝化膜等离子体处理的研究【摘要】:在HgCdT e光伏探测器件S iO2+ZnS复合介质膜钝化中,引入O+2清洗和A+r刻蚀两种等离子体处理工艺,大大提高薄
【关键词】: O+清洗 Ar+刻蚀 钝化 HgCdTe光伏探测器
【分类号】:TN215
【正文快照】: 1引言碲镉汞(HgCdT e)作为一种性能良好的红外探测器材料,以其独特的物理特性和应用潜力而日益引起了人们的广泛关注,成为仅次于S i和G aA s的应用最广的半导体材料。HgCdT e红外探测器主要有两种类型:光导型和光伏型。但不管是光导探测器还是光伏探测器,器件的表面钝化技术
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