碲镉汞光伏型探测器的变面积氢化研究

【摘要】：利用氢等离子体对碲镉汞光伏型探测器进行了变面积氢化处理研究,发现随着氢化面积的变大,器件的电流-电压(I-V)特性得到明显改善,表现在器件的暗电流变小,零偏电阻R0变大,同时器件的电流噪声也随着氢化面积的扩大而逐渐降低.通过对比实验结果和数值拟合结果,认为氢化工艺对器件性能的改善机制与氢化区域有关,当氢化区域限于N型区时,氢化的效果主要表现在降低注入损伤导致的少子复合中心从而提高少子寿命;当氢化区域扩大到P型区时,氢化的效果主要表现在使表面耗尽区中的陷阱中心减少,主要通过降低间接隧道电流来改善器件性能,这说明了实验中注入成结的光伏器件为N+P结. 【作者单位】： 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室;中国科学院研究生院;
【关键词】： 氢化工艺 变面积 钝化 光伏探测器 碲镉汞材料 主要表现 氢化处理 暗电流 碲镉汞器件 碲镉汞光伏器件
【基金】：中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿(C2-18)资助项目
【分类号】：TN215
【正文快照】： 引言碲镉汞红外器件包括光导型(photoconductive,PC)和光伏型(photovoltaic,PV),光伏型器件按照规模可分为单元、线列和面阵;由于具有高响应速度、小功耗、大面阵以及容易与读出电路集成等优点,碲镉汞光伏探测器尤其是面阵器件(Focal PlaneArray,FPA)代表了碲镉汞器件大规模

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