基于磁控溅射技术沉积光伏电池用硅基薄膜材料的研究

【摘要】：硅基薄膜太阳能电池是光伏电池领域最具有发展前景的组件。采用非平衡磁控溅射技术制备氢化硅薄膜和SiNx/Si纳米多层膜,并对其结构与性能进行了分析。结果表明,Si∶H薄膜呈现出非晶硅和硅纳米晶颗粒复合结构;随着溅射混合气中氢气含量的增加,Si∶H薄膜的晶化程度增强;Si∶H薄膜的光学带隙均高于2.0eV。利用交替磁控溅射方法沉积的SiNx/Si纳米多层膜结构,其呈现出非晶相。 【作者单位】： 西安理工大学材料科学与工程学院;
【关键词】： 硅薄膜 硅纳米晶 SiNx/Si纳米多层膜 磁控溅射
【基金】：国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2005AA33H010) 西安理工大学科研基金资助项目(101210703)
【分类号】：O484.1
【正文快照】： 随着能源危机和“温室效应”日趋严重,开发和发展新型清洁可再生能源成为能源领域的重要任务,其中太阳能以其清洁环保、取之不尽等优点成为重点发展的新型能源之一。硅基太阳能电池具有原料丰富、无毒等优点,已成为陆地用高性能太阳能电池领域最具有发展前景的电池组件之一。

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

Modification of Optical Band-Gap of Si Films After Ion Irradiation    朱亚滨;王志光;孙建荣;姚存峰;魏孔芳;缑洁;马艺准;申铁龙;庞立龙;盛彦斌;

氢化纳米硅（na-Si：H）薄膜太阳电池研究    于化丛

纳米硅薄膜太阳电池本征层的制备及性能研究    唐鹏举

基于磁控溅射技术的掺氢硅薄膜制备及其结构性能研究    郭伟

电子束蒸发α-Si_(1-x)Er_x 薄膜的光吸收特性    甘润今,张仿清,刘国汉

HWP-CVD氮化硅薄膜的结构和光学特性    于威,侯海虹,何杰,王华英,傅广生

电子束蒸发a-Si_(1-x)Gd_x薄膜的光吸收    甘润今,张仿清,张津燕,刘国汉,陈光华

硅薄膜晶化机制的光学分析    张丽伟;周伶俐;李瑞;卢景霄;李红菊;王红娟;谷锦华;杨仕娥;

射频磁控溅射制备掺Al的纳米Si-SiO_2复合薄膜及其光致发光特性    郭亨群;杨琳琳;王启明;

衬底温度对纳米硅薄膜结构性能的影响    聂东林，杨丽颖，韩伟强

LPCVD氮化硅薄膜的制备工艺    冯海玉,黄元庆,冯勇健

SiCl_4-H_2沉积多晶硅薄膜过程中放电功率的影响    王照奎,林璇英,林揆训,邱桂明,祝祖送,黄锐,魏俊红

电子束蒸发a-Si_(1-x)Cr_x薄膜的光吸收    甘润今,张仿清,张津燕,陈光华

多晶硅薄膜应力特性研究    张国炳,郝一龙,田大宇,刘诗美,王铁松,武国英

离子辐照对硅薄膜晶化率和光学带隙的影响    朱亚滨;王志光;孙建荣;姚存峰;魏孔芳;缑洁;马艺准;申铁龙;庞立龙;盛彦斌;

硅薄膜P型掺杂特性的研究    郭群超;耿新华;张建新;张德坤;孙建;任慧志;吴春亚;

PECVD法制备微晶硅薄膜的研究    蔡宏琨;郝延明;张德贤;林列;

纳米硅薄膜及其太阳电池研究进展    钟立志;张维佳;吴小文;何宇亮;

粉末溅射制备ZnO:In薄膜及其光学性质的研究    彭丽萍;方亮;杨小飞;黄秋柳;吴芳;孔春阳;

以SiCl_4-H_2为源气体用PCVD方法低温快速生长晶化硅薄膜    黄锐;魏俊红;林璇英;余云鹏;林揆训;余楚迎;

制备多晶硅薄膜的晶化方法    张宇翔;冯团辉;杨仕娥;陈永生;李瑞;郭敏;

多晶硅薄膜的制备参数对其结晶状况的影响    李瑞;陈永生;杨仕娥;靳锐敏;王海燕;张宇翔;卢景宵;

高功率脉冲磁控溅射技术——灵活的薄膜技术    田修波;吴忠振;巩春志;杨士勤;

塑料透明导电膜(ITO)的研制及其应用    李会斌;陈红;

硅薄膜电池研究获“973”立项    记者 刘其丕

将硅薄膜光伏气体供应延伸到最终使用点    

硅薄膜太阳能发电成本有望下降    本报记者 张晓英　通讯员 刘相华

气体供应对硅薄膜电池制造及成本控制至关重要    林德电子亚洲太阳能市场发展部经理 陈慧玲

硅薄膜太阳电池基地落沪    记者 蒋心和

将液晶制造设备应用于薄膜电池有助于降低生产线投资    哈尔滨克罗拉太阳能电力有限公司副总经理 李瑞武

新型SiOx高阻隔薄膜的制备技术    陈强

美缩微冰箱让庞然大物失温    张亮

每五年必须有一个杀手锏的技术    特约记者 邬旸本报记者 蓝江

三洋开发出提高太阳能电池产量新技术    欣华

硅基薄膜的制备及其在锂离子电池中的应用    秦艳丽

磁控溅射制备ZnO及其掺Al薄膜与MSM紫外光电探测器的研制    吴跃波

热丝化学气相沉积制备硅氢薄膜及其性质的研究    郭小松

Ⅲ-Ⅴ族非晶态探测器材料研究    么艳平

硅薄膜太阳电池材料的制备研究    王金晓

磁控溅射纳米多层膜替代电镀铬涂层的研究    张治国

薄膜太阳电池及其陶瓷硅衬底材料的制备和电子辐照研究    廖华

磁控溅射WO_3和NiO_x互补型电致变色薄膜    王丽阁

镁合金表面磁控溅射沉积Cr基涂层的结构与特性研究    石永敬

磁控溅射Ni-Mn-Ga合金薄膜的相变行为与性能    刘超

热丝化学气相沉积制备硅薄膜及其性能研究    刘滨

介质阻挡放电增强热丝CVD沉积硅薄膜的研究    张春丽

基于磁控溅射技术的掺氢硅薄膜制备及其结构性能研究    郭伟

PECVD法制备a-C：F：N薄膜的结构和稳定性研究    张云芳

等离子体技术制备硅碳氮薄膜研究    朴勇

化学浴沉积制备金属硫族化合物光电功能薄膜    范冬波

热丝辅助MWECR CVD制备氢化非晶硅薄膜的微结构研究    李瀛

单分散纳米晶的制备、表征、组装和相关性能研究    刘小网

铝诱导非晶硅薄膜的场致低温快速晶化    陈一匡

磁控溅射法沉积硅薄膜的研究    刘本锋