氧化钒薄膜光伏效应机理分析

【摘要】：氧化钒薄膜是非致冷红外焦平面探测器的重要组成部分,光电特性一直是国内外的研究热点。用反应磁控溅射方法在K9玻璃衬底上制备了氧化钒薄膜,并在特定条件下对其进行了退火处理。结果发现,在300℃下退火180s的氧化钒薄膜在可见光照射情况下呈现出了光伏效应,这说明光生载流子在氧化钒薄膜表层形成后得到了有效分离。该光伏特性为氧化钒薄膜在光电探测器中的应用拓展提供了有力的理论依据。 【作者单位】： 电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件重点实验室;
【关键词】： 氧化钒薄膜 退火 光伏效应 Dember效应 场制表面电压
【基金】：国家自然科学基金项目(60806021)
【分类号】：O484.41
【正文快照】： 0引言钒是一种过渡金属，其氧化物因钒价态不同而至少存在十三种物相[l]。由于各物相晶格结构并不相同，它们的性能差异较大。这些氧化钒材料在激光保护、光学存储、智能窗口、热变色器件、反射镜以及催化剂方面具有广泛的应用前景[2一4].其中，具有混合相的VO二拥有较高的电

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