垂直多结光伏型集成硅X射线探测器的实现和实验
垂直多结光伏型集成硅X射线探测器的实现和实验【摘要】:介绍垂直多结器件的结构,给出了热迁移制结的工艺条件和结果;介绍了处理器件电极引线的隔离线方法,解决了经过热迁移掺杂后光刻电极套
【关键词】: 垂直多结 集成X射线探测器 性能及测量
【基金】:福建省高校服务海西建设重点项目(批准号:A100) 内蒙古自然科学基金(批准号:86044)资助的课题~~
【分类号】:TL816.1
【正文快照】: 介绍垂直多结器件的结构,给出了热迁移制结的工艺条件和结果;介绍了处理器件电极引线的隔离线方法,解决了经过热迁移掺杂后光刻电极套不准的难题,解决了把所有P型区域连接起来的问题,达到了敏感区金属零遮挡的目的.描述了利用展宽电极尺度的方法实现多单元器件的集成;给出了X
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