多晶硅薄膜太阳能电池的陶瓷衬底材料

【摘要】：正目前,薄膜太阳能电池是主要的发展方向,在廉价衬底上沉积硅薄膜。这些衬底可以是陶瓷、硅带、玻璃等等,沉积的方法有化学气相沉积、液相外延等。本文采用陶瓷作为太阳能电池的衬底材料,通过陶瓷烧结工艺来制备Si_3N_4衬底,利用杂质阻挡层来实现在异质衬底上生长多晶硅薄膜有源层。经处理后的Si_3N_4样品分为两组,一组用PECVD沉积Si_3N_4作为杂质阻挡层,将两组样品置于RTCVD系统中生长薄膜,生长温度为1100～1150℃,生长速率为1.5μm/min,薄膜厚度为46μm。四探针测量和Hall测量测得薄膜的方块电阻力15.2Ω/□,薄膜的电阻率为0.07Ω·cm,掺杂浓度为5.5E+17cm~(-3),迁移率为 【作者单位】：清华大学材料科学与工程系 清华大学材料科学与工程系 清华大学材料科学与工程系
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 目前,薄膜太阳能电池是主要的发展方向,在廉价衬底上沉积硅薄膜。这些衬底可以是陶瓷、硅带、玻璃等等,沉积的方法有化学气相沉积、液相夕诞等。本文采用陶瓷作为太阳能电池的衬底材料,通过陶瓷烧结工艺来制备Si3N;衬底,利用杂质阻挡层来实现在异质衬底上生长多晶硅薄膜有源

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

辉光放电沉积非晶态硅薄膜的光电性    叶雅谷,陆忠乾,吴宗焱

太阳能电池用的非晶硅氢合金    杨谨福

太阳电池发展简史    刘玉珩;

无定形硅太阳电池    李春鸿;

多晶硅薄膜(CVD)的生长规律及膜的基本物理性质研究    韩桂林,王玉玲,刘连元,王岚

真空淀积速率对镍铬硅薄膜电阻电性能的影响    樊百昌;吕乃康;

探测陶瓷衬底中的裂缝    W·Hill ,韩金铃

激光沉积硅薄膜的研究    杨静然,王西坡,彭桂芳

非晶硅在太阳能利用方面取得成功    杨谨福

聚四氟乙烯薄膜在磨床导轨上的应用    苏安翔;

热丝助PECVD低温多晶硅薄膜制备的研究    冯勇;朱美芳;刘丰珍;刘金龙;韩一琴;

非硅衬底上转换效率10%的硅薄膜太阳电池    许颖;励旭东;罗欣莲;王文静;于民;李仲明;

金属有机化合物化学气相淀积Pd-Ni膜的氢敏性能    彭定坤;黄磊;孟广耀;

陶瓷衬底上制备多晶硅薄膜的初步研究    许颖;于元;莫春东;李海峰;黄勇;

RTCVD多晶硅薄膜太阳能电池的陶瓷衬底材料    李海峰;黄勇;许颖;于元;

低纯度颗粒硅带上硅薄膜太阳电池的研究    李维刚;励旭东;许颖;姬成周;

多晶硅薄膜材料的准分子激光烧结制备与性能研究    邱法斌;张玉;骆文生;刘传珍;荆海;黄锡珉;

低镜面反射纳米硅镀膜玻璃制备及拉曼光谱表征    刘涌;宋晨路;韩高荣;

陶瓷衬底多晶硅薄膜区熔再结晶的研究    顾亚华;许颖;叶小琴;王文静;李海峰;万之坚;

氢稀释对硅基薄膜光电性能及微结构的影响    侯国付;张晓丹;朱峰;任慧志;赵颖;耿新华;

微观世界显豪情    汪雪姣 郑丽红

施正荣：中国能源新技术发展的推进者    过国忠 实习生 张积勇

尚德 引领中国能源新技术赶超世界    本报记者 过国忠 实习生 郭永峰

新型光伏电池效率居全国首位    陈丽娜

纳米硅薄膜光伏电池新能源    

激情和责任    本报记者 古月

尚德太阳能进军上海　大力开发下一代光电产品    宋尧

一项新能源技术的关键性突破    耿新华

能源危机点亮太阳能电池璀璨前景    罗清岳

南开大学光伏电池与世界争辉    记者　冯国梧 通讯员　张国

低温多晶硅材料及其器件的研究    刘传珍

新颖液晶光阀及紫外光电二极管阵列的研究    沈大可

微机械材料力学性能测量    宗登刚

化学气相沉积硅基薄膜的性能及机理研究    宋雪梅

薄膜太阳电池及其陶瓷硅衬底材料的制备和电子辐照研究    廖华

基于纳米结构的场致电子发射研究    郁可

高可靠性电子封装中防潮薄膜技术的研究    黄卫东

MOS环振式数字加速度传感器研究    张兆华

掺铒硅基薄膜的纳米结构与发光动力学研究    肖志松

低成本衬底上晶体硅薄膜太阳电池的研究    励旭东

悬臂梁结构微机械压阻式加速度传感器研究    金虎

塑封TQFP器件及电子模块封装防潮性能的研究    赵润涛

纳米硅薄膜场发射压力传感器特性研究    刘金华

ZSM-5沸石沉积SiO_2改性用于甲苯择形歧化反应的研究    刘杰

超薄介质膜热扩散率的测试研究    宁金辉

以SiCl_4为气源用PECVD方法低温沉积多晶硅薄膜    黄创军

富硅二氧化硅薄膜的光致荧光特性研究    肖淑娟

微型瞬态薄膜热流计的研制    杨素君

新型平板显示器件的研究    冯涛

超短激光脉冲交流量热法研究    陈海军