非晶硅太阳能电池ZnO:Al/Al复合背电极增反工艺优化

【摘要】：在硅基薄膜太阳能电池中,常使用透明导电氧化物(TCO)与金属组成的复合背反射电极,以增加对太阳光的收集效率,从而提高太阳能电池的转化效率。实验发现,透明导电膜自身性能、厚度大小及其与n层界面匹配情况是影响背反射电极性能的重要因素,所以本文将着眼点放在优化TCO的制备工艺以得到性能良好的TCO膜,同时选择合适的膜厚并改善界面匹配以提高背反射效果。通过实验和理论计算,得到最合适的膜厚100nm左右。与n-a-Si相比,n-μ-c-Si与TCO匹配更好。 【作者单位】：河北工业大学 南开大学光电子所 河北工业大学 南开大学光电子所 南开大学光电子所 南开大学光电子所 南开大学光电子所
【关键词】：透明导电膜 背反射电极 膜厚 透过率 反射率 界面匹配
【分类号】：TM914
【正文快照】： 1引言 对非晶硅太阳电池来说,目前的关键问题是进一步提高光电转换效率和改善稳定性。其中氧化物透明导电膜TCO/metal复合背反射电极不但可以使I层的光吸收增强,从而增大短路电流,提高电池的转化效率[l,2〕,而且可以进一步减薄I层,改善电池的稳定性。 早期的背反射电极的TCO

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