等离子体辅助化学气相沉积制备高阻隔纳米薄膜在聚合物太阳能电池上的应用

【摘要】：聚合物太阳能电池作为新型可再生能源引起人们的广泛研究,然而限制其商业化的主要原因是空气中的水汽和氧气容易引起电池性能的衰退。本文使用等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)技术在PET薄膜上制备高阻隔性纳米氧化硅薄膜并对聚合物太阳能电池进行封装。采用CCP-PECVD设备、40kHz脉冲电源,以六甲基硅氧烷(HMDSO)为单体、氧气为反应气体、氩气为电离气体沉积氧化硅薄膜。通过傅立叶红外光谱仪(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外可见光分度计(UV-visiblespectrophotometer)、透湿(WVTR)、透氧(OTR)测试仪等分析了薄膜的化学结构成分、表面形貌和薄膜的阻隔性能;利用半导体分析仪测试电池的Ⅰ-Ⅴ曲线,通过Ⅰ-Ⅴ曲线计算电池寿命。结果表明沉积薄膜的主要成分为氧化硅,而且结构致密,具有较高的透光性;双面沉积薄膜得到透湿率和透氧率分别为10-3g/m2.day、0.05cc/m2.day,使用该薄膜封装聚合物太阳能电池,使电池寿命从25h提高到400h,显著提高了电池的使用时间。 【作者单位】：北京印刷学院等离子体物理与材料研究室
【关键词】：PECVD 氧化硅 聚合物太阳能电池 封装
【分类号】：TN304.055;TM914.4
【正文快照】： 等离子体辅助化学气相沉积制备高阻隔纳米薄膜在聚合物太阳能电池上的应用@齐磊$北京印刷学院等离子体物理与材料研究室!北京大兴,102600 @张春梅$北京印刷学院等离子体物理与材料研究室!北京大兴,102600 @桑立军$北京印刷学院等离子体物理与材料研究室!北京大兴,102600

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