氟基等离子体诊断以及在多晶硅太阳能电池制绒中应用研究

【摘要】：强电负性的氟基等离子体是有望替代多晶硅电池片表面湿法制绒的干法制绒技术,然而氟基等离子体特性以及多晶硅的干法制绒机制机制仍不清楚。本文利用悬浮性的微波共振探针进行了氟基射频等离子体电子密度的测量,并在氟-氧基等离子体中进行了多晶硅表面干法制绒研究。 【作者单位】：苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室
【关键词】：电子密度 等离子体制绒 多晶硅 反射率 少子寿命
【基金】：江苏省前瞻性产学研联合研究项目课题(批准号:BY2010125)
【分类号】：TM914.41;O536
【正文快照】： 对40.68翩z单射频容性藕合Ar/SF。和SF6/02等离子体的测量结果表明:电负性气体SF。通入40.68MHz单射频容性祸合Ar等离子体显著降低了等离子体电子密度，随着SF6流量的增加，电子密度呈缓慢下降的趋势;SF6/0:混合气体放电中，电子密度随入射功率的增加而上升，而放电气压的上

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