溶胶凝胶旋涂工艺制备单晶硅太阳能电池用ZnO减反射膜的研究

【摘要】：本文采用溶胶凝胶旋涂工艺在制绒后的单晶硅片表面制备了ZnO减反射薄膜,采用锌离子浓度分别为0.6mol/L和1.0mol/L的两种不同溶胶,涂敷了不同的厚度的ZnO薄膜。用XRD,紫外可见光谱,反射率分析等方法对ZnO的结构和光学性能进行表征。结果表明:在制绒硅片上制备的ZnO减反射膜没有出现择优取向,该ZnO薄膜能够使制绒后的硅片在400nm到1000nm波长范围内的平均反射率降至2.16%。 【作者单位】：南京航空航天大学材料科学与技术学院 南京沙宁申科技开发有限公司
【关键词】：单晶硅片 ZnO减反射薄膜 反射率 溶胶凝胶旋涂工艺
【分类号】：TM914
【正文快照】： 1煎言太阳能电池的生产中，一般都要在硅材料表面淀积一定厚度的减反射膜，以降低硅片对太阳光的反射，从而增加硅片对太阳光的吸收，提高电池的短路电流。目前的单晶硅太阳能电池一般采用SINx，Tio:等作为减反射膜。ZnO薄膜具有高透光性和致密性，ZnO薄膜的其它优良特性还包

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