CuInGaSe_2太阳能薄膜及其靶材制备技术发展与前景

【摘要】：以CuInGaSe2(CIGS)太阳能薄膜及其靶材为研究对象,概述了CIGS薄膜的各种制备方法,包括沉积法、置换法、蒸镀法及各种溅射法,介绍了溅射法制备CIGS薄膜所用靶材的加工工艺,分析并预测得出合金-靶溅射将成为工艺主流,而合金熔铸法将成为溅射靶材合理的制备工艺。 【作者单位】：上海交通大学材料科学与工程学院
【关键词】：CuInGaSe(CIGS) 溅射靶材 制备工艺
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 1引言随着地球上能源不断消耗,世界能源危机日趋严重,人类寻找新能源、开发新能源已迫在眉睫。众所周知,太阳能取之不尽用之不竭,且具有无污染、分布广等特点,开发太阳能资源符合全球可持续发展战略,因此太阳能技术的进展始终受到高度关注。将太阳能转化为电能主要有两种方式,

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