改良西门子法多晶硅还原工序节能降耗研究

【摘要】：介绍了多晶硅产业的发展和研究现状,并针对改良西门子法的多晶硅制备环节,总结和分析了工艺、装备及管理的能耗影响规律,并阐述了节能降耗的方法和措施。工艺方面应在保证三氯氢硅一次转化率的前提下,尽量提高多晶硅的沉积速率,通过适当提高混合气流量和硅棒温度,提高三氯氢硅摩尔比例,提高炉内反应压力,达到降低电耗的效果;装备方面可以选用多对棒还原炉,并优化配套电器系统来确保电耗进一步降低;管理降耗的重点是重视市场的资源配置作用,能够适时根据市场环境及时调整多晶硅质量策略,并尽量降低备件消耗,利用考核和绩效激励方式减少人为浪费。 【作者单位】： 中国恩菲工程技术有限公司;
【关键词】： 多晶硅 沉积速率 节能降耗
【分类号】：TQ127.2
【正文快照】： ^ 0引言 多晶硅行业的发展始于20世纪50年代,早期的多晶硅产品主要面向半导体市场,由于半导体市场对多晶硅产品的需求量并不大,所以当前多晶硅产业的蓬勃发展主要受益于光伏产业的兴起。全球多晶硅产品中,80%以上的产品应用于太阳能光伏产业,多晶硅作为太阳能电池的基本原材料

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