CuInSe_2薄膜太阳能电池光吸收层、缓冲层、电极的制备与性能研究
CuInSe_2薄膜太阳能电池光吸收层、缓冲层、电极的制备与性能研究【摘要】:太阳能电池(solar cells)是实现太阳能发电最重要的发明,主要是利用光生伏打效应(photov
【学位授予单位】:华东师范大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2007
【分类号】:TM914.4
【目录】:
- 论文摘要6-7
- Abstract7-11
- 第一章 绪论11-18
- 1.1 前言11
- 1.2 薄膜太阳能电池的发展11-12
- 1.3 本论文研究的内容和目的12-14
- 1.3.1 本论文研究的内容13
- 1.3.2 本论文研究的目的13-14
- 参考文献14-18
- 第二章 薄膜生长方法、仪器与测试仪器18-30
- 2.1 薄膜生长方法和实验仪器18-22
- 2.1.1 磁控溅射镀膜法(Magnetron sputtering)18
- 2.1.2 研究所采用的磁控溅射系统18-20
- 2.1.3 硒化装置20-21
- 2.1.4 化学水浴法(Chemical bath deposition:CBD)21
- 2.1.5 化学水浴法装置21-22
- 2.2 测试分析仪器22-30
- 2.2.1 扫描电子显微镜(SEM)22-24
- 2.2.2 X-Ray衍射仪(XRD)24
- 2.2.3 X-Ray光电子能谱(XPS)24-25
- 2.2.4 UV-VIS分光光度计25-26
- 2.2.5 台阶仪26-27
- 2.2.6 Raman光谱测试仪27
- 2.2.7 四探针27-28
- 2.2.8 半导体导电类型判断测试装置28-30
- 第三章 薄膜制备及结果讨论30-58
- 3.1 概述30-31
- 3.2 Mo底电极制备31-32
- 3.2.1 磁控溅射制备Mo电极31
- 3.2.2 Mo电极结果和讨论31-32
- 3.3 CuInSe_2光吸收层制备32-40
- 3.3.1 CuIn合金预置层的制备32-33
- 3.3.2 CuIn合金预置层测试结果和讨论33-34
- 3.3.3 CuIn合金预置层硒化制备CuInSe_2光吸收层34-40
- 3.3.4 小结40
- 3.4 化学水浴法(CBD)制备硫化镉薄膜(CdS)40-47
- 3.4.1 概述40-41
- 3.4.2.制备41
- 3.4.3.结果和讨论41-46
- 3.4.4 小结46-47
- 3.5 低真空度下用射频磁控溅射方法制备ITO47-55
- 3.5.1 概述47-48
- 3.5.2 射频磁控溅射方法制备ITO48
- 3.5.3 结果与讨论48-53
- 3.5.4 小结53-55
- 参考文献55-58
- 第四章 总结58-59
- 致谢59-60
- 附作者发表或已提交的文章、专利60
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