硅基纳米图形结构的制备及其在发光器件与太阳能电池中的应用
硅基纳米图形结构的制备及其在发光器件与太阳能电池中的应用【摘要】:随着硅平面工艺技术的飞速发展,器件的特征尺寸越来越小,集成电路的规模和集成度得到不断提升。器件尺寸的缩小使得人们日
【学位授予单位】:南京大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2011
【分类号】:TB383.1
【目录】:
- 摘要2-4
- Abstract4-8
- 第一章 绪论8-16
- 1.1 硅基纳米结构的研究背景8-11
- 1.2 纳米结构在硅基光电器件中的研究现状11-12
- 1.3 本论文的研究意义和主要内容12-14
- 参考文献14-16
- 第二章 纳米图形衬底的制备与表征16-25
- 2.1 引言16-17
- 2.2 纳米图形衬底的制备17-18
- 2.3 纳米图形衬底的表征18-21
- 2.4 纳米图形衬底的光学性质21-23
- 2.5 本章小结23-24
- 参考文献24-25
- 第三章 纳米图形衬底对Si QDs/SiO_2多层膜发光性质的影响25-40
- 3.1 引言25-26
- 3.2 Si QDs/SiO_2多层膜的制备26-27
- 3.2.1 a-Si∶H/SiO_2多层膜的制备26
- 3.2.2 后退火处理得到Si QDs/SiO_2多层膜26-27
- 3.3 Si QDs/SiO_2多层膜的表征27-29
- 3.4 纳米图形衬底对Si QDs/SiO_2多层膜光致发光的影响29-31
- 3.5 纳米图形衬底对Si QDs/SiO_2多层膜电致发光的影响31-38
- 3.6 本章小结38-39
- 参考文献39-40
- 第四章 纳米图形衬底对非晶硅/单晶硅异质结太阳能电池的性能影响的初步探索40-48
- 4.1 引言40
- 4.2 衬底的光学性质40-43
- 4.3 非晶硅/单晶硅异质结太阳能电池的制备与表征43-44
- 4.4 非晶硅/单晶硅异质结太阳能电池的测试结果44-45
- 4.5 本章小结45-47
- 参考文献47-48
- 第五章 总结与展望48-50
- 5.1 主要结论48-49
- 5.2 展望49-50
- 硕士期间发表论文50-52
- 致谢52-53
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