薄膜太阳能板生产线中Laser Scribe设备自动化的研究与实现

【摘要】：FAS为薄膜太阳能电池板制造业提供了一整套工厂自动化解决方案。FAS由可视化图形界面系统、制造执行系统(MES)、设备自动化平台(EAP)组成。本文所讨论的设备自动化系统是基于EAP实现的,通过设备自动化系统使得工厂中所有的设备都在FAS的控制和协调下工作,以降低成本和提高生产效率。 本文对设备自动化系统中的关键设备Laser Scribe进行了研究与实现。首先分析了Laser Scribe提供的自动化相关的功能以及设备与EAP通信所用的SECS协议。然后对Laser Scribe设备自动化进行了分模块的设计与实现,包括设备模型的建立和设备的逻辑控制。设备逻辑控制模块主要实现了设备状态管理、生产参数管理、生产管理以及警告管理的功能。最后通过搭建测试环境,对Laser Scribe设备自动化进行了集成测试,完成了整个系统的开发。 【关键词】：工厂自动化系统 制造执行系统 设备自动化 半导体机台通信协议
【学位授予单位】：西安电子科技大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2010
【分类号】：TP278;TM914.4
【目录】：

• 摘要3-4
• Abstract4-7
• 第一章 绪论7-11
• 1.1 研究背景7-8
• 1.2 研究目的和意义8
• 1.3 本文主要工作8-9
• 1.4 本文组织结构9-11
• 第二章 工厂自动化系统FAS研究11-21
• 2.1 FAS系统体系结构11-12
• 2.2 FAS系统功能模块研究12-20
• 2.2.1 用户图形界面系统OGUI12-13
• 2.2.2 制造执行系统MES13-16
• 2.2.3 设备自动化平台EAP16-20
• 2.3 本章小结20-21
• 第三章 Laser Scribe设备自动化的分析与设计21-47
• 3.1 Laser Scribe功能分析21-23
• 3.1.1 Laser生产处理功能21-22
• 3.1.2 Laser Scribe自动化相关功能的研究22-23
• 3.2 设备自动化的SEMI标准23-30
• 3.2.1 SECS-GEM通信标准的框架23-24
• 3.2.2 SECS-GEM标准分层介绍24-30
• 3.3 Laser Scribe自动化的需求分析30-31
• 3.4 系统设计31-46
• 3.4.1 设计目标31
• 3.4.2 Laser Scribe自动化概要设计31-32
• 3.4.3 设备模型建立32-37
• 3.4.4 功能模块设计37-46
• 3.5 本章小结46-47
• 第四章 Laser Scribe逻辑控制的实现与测试47-65
• 4.1 设备状态管理47-49
• 4.2 生产参数管理49-51
• 4.3 设备生产管理51-55
• 4.4 设备警告管理55-57
• 4.5 系统测试与分析57-63
• 4.5.1 测试环境的建立57-58
• 4.5.2 测试用例的设计与测试的实施58-63
• 4.6 本章小结63-65
• 第五章 总结与展望65-67
• 致谢67-69
• 参考文献69-70

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