薄膜太阳能电池窗口材料SnO_2的PECVD制备及其性能研究
薄膜太阳能电池窗口材料SnO_2的PECVD制备及其性能研究【摘要】:二氧化锡(SnO_2)是一种宽带隙的金属氧化物,其薄膜具有可见光透性强、电阻低、化学性能稳定等优点,是一种合适
【学位授予单位】:华中科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2009
【分类号】:TM914.42
【目录】:
- 摘要4-5
- Abstract5-9
- 1 绪论9-18
- 1.1 引言9-10
- 1.2 太阳能电池10-13
- 1.3 薄膜太阳能电池13-15
- 1.4 薄膜太阳能电池窗口材料的选择15-16
- 1.5 本课题研究背景及主要研究内容16-18
- 2 等离子体增强化学气相沉积(PECVD)实验平台设计18-24
- 2.1 引言18
- 2.2 常用薄膜沉积方法18-21
- 2.3 PECVD实验平台的设计21-23
- 2.4 本章小结23-24
- 3 PECVD 法制备Sn0_2 薄膜实验及机理分析24-29
- 3.1 PECVD法制备SnO_2 薄膜实验原料的选择24
- 3.2 衬底的选择与预处理24-25
- 3.3 PECVD法制备Sn0_2 薄膜实验25-28
- 3.4 PECVD法制备Sn0_2 薄膜机理分析28
- 3.5 本章小结28-29
- 4 Sn0_2 薄膜性能表征与分析29-35
- 4.1 Sn0_2 薄膜晶体结构测试29-30
- 4.2 Sn0_2 薄膜表面形貌测试30-32
- 4.3 Sn0_2 薄膜成分分析32-33
- 4.4 Sn0_2 薄膜光透射率测试33-34
- 4.5 Sn0_2 薄膜电学性能测试34
- 4.6 本章小结34-35
- 5 PECVD 工艺参数对Sn0_2 薄膜性能的影响35-53
- 5.1 引言35
- 5.2 衬底温度对Sn0_2 薄膜的影响35-41
- 5.3 沉积时间对Sn0_2 薄膜的影响41-44
- 5.4 退火处理对Sn0_2 薄膜的影响44-47
- 5.5 其他工艺参数对51102 薄膜的影响47-51
- 5.6 本章小结51-53
- 6 结论与展望53-56
- 6.1 本论文的主要结论53-54
- 6.2 存在的问题和下一步工作设想54-56
- 致谢56-57
- 参考文献57-60
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