液相沉积SiO_2薄膜在太阳能电池上的应用
液相沉积SiO_2薄膜在太阳能电池上的应用【摘要】:近几十年来,固体太阳能电池作为一种在缓解能源短缺和环境污染方面有巨大前景的绿色能源,促进了太阳能光伏发电技术的迅猛发展。当前,晶
【学位授予单位】:复旦大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2014
【分类号】:TM914.4
【目录】:
- 摘要5-7
- Abstract7-9
- 第一章 绪论9-30
- 1.1 引言9
- 1.2 太阳能电池9-15
- 1.2.1 光伏太阳能产业的发展历程9-11
- 1.2.2 太阳电池的研究水平和光伏产业现状11-15
- 1.3 晶体硅太阳能电池工作原理与生产工艺15-20
- 1.3.1 晶体硅太阳能电池工作原理15-17
- 1.3.2 太阳能电池的构造及生产工艺17-20
- 1.4 论文相关研究体系介绍20-28
- 1.4.1 晶硅太阳能电池绒面(Texture)制备技术20-23
- 1.4.2 晶体硅太阳能电池钝化(Passivation)技术23-26
- 1.4.3 晶体硅太阳能电池发展趋势26-28
- 1.5 本论文的研究目的以及意义28-30
- 第二章 实验试剂及仪器30-32
- 2.1 实验主要试剂及实验仪30-32
- 2.1.1 化学试剂及药品30
- 2.1.2 实验仪器30-32
- 第三章 液相沉积(LPD)技术的拓展32-46
- 3.1 前言32-33
- 3.2 Si表面LPD法沉积SiO_2薄膜机理及实验内容33-36
- 3.2.1 LPD法在Si表面沉积SiO_2机理33-34
- 3.2.2 Si片预处理34-35
- 3.2.3 制备LPD前驱体溶液35
- 3.2.4 LPD沉积Si表SiO_2薄膜35-36
- 3.3 LPD-SiO_2@Si表征结果与讨论36-42
- 3.3.1 LPD-SiO_2薄膜比色36-37
- 3.3.2 反应温度对LPD沉积SiO_2薄膜的影响37-40
- 3.3.3 LPD-SiO_2薄膜的形态结构40
- 3.3.4 LPD-SiO_2薄膜的FTIR表征40-42
- 3.4 LPD-SiO2薄膜的碱腐蚀耐受性测试42-44
- 3.4.1 实验测试方法42
- 3.4.2 实验结果与讨论42-44
- 3.5 小结与展望44-46
- 第四章 全湿法单晶硅单面制绒技术探索46-58
- 4.1 前言46-48
- 4.2 实验部分48-49
- 4.2.1 LPD-SiO_2阻挡层保护下的单晶Si单面制绒48-49
- 4.2.2 Si片前后表面的表征49
- 4.3 结果与讨论49-57
- 4.3.1 LPD-SiO_2薄膜阻挡层湿法单面制绒直观效果50-51
- 4.3.2 单绒面Si片的FE-SEM表征51-53
- 4.3.3 湿法单面制绒Si片的反射率与膜厚损失测试53-56
- 4.3.4 制绒过程硅材厚度损失测试56-57
- 4.4 小结与展望57-58
- 第五章 LPD湿法单面制绒的电池制造测试58-69
- 5.1 前言58
- 5.2 LPD湿法单绒面单晶硅太阳能电池的制造流程58-62
- 5.2.1 实验试剂58
- 5.2.2 H_2SiF_6前驱体溶液的配制58-59
- 5.2.3 大片Si表面预处理59-60
- 5.2.4 大片Si表面LPD-SiO_2薄膜的制备60-61
- 5.2.5 大片Si前表面LPD-SiO_2薄膜的去除61-62
- 5.2.6 电池的制造与测试62
- 5.3 结果与讨论62-65
- 5.3.1 大片LPD-SiO_2薄膜沉积效果62-64
- 5.3.2 膜层保护效果与电池测试结果64-65
- 5.4 小结与展望65-69
- 参考文献69-77
- 攻读硕士期间发表论文77-78
- 致谢78-80
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