氯硅烷和多晶硅精馏节能减排与提高质量的技术措施

【摘要】：多晶硅在当前的工业领域中具有十分重要的作用。而在多晶硅的生产过程中,会产生很多三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯化硅等氯硅烷副产品,导致生产成本升高。同时,很多氯硅烷和氯化氢将会进入尾气当中,加大了对环境的污染。本文首先对多晶硅的生产工艺进行了介绍,然后分析了多晶硅精馏节能技术的原理,最后阐述了利用高效分离技术提高产品质量和降低排放。 【作者单位】： 新特能源股份有限公司;
【关键词】： 氯硅烷和多晶硅 精馏节能减排与提高质量 技术措施
【分类号】：TQ127.2;TQ264.1
【正文快照】： 在信息产业、光电转换等领域当中,多晶硅都是十分理想的材料之一。它的应用和发展,对于我国电子信息产业和光伏产业的发展和进步具有十分重要的意义。但是,我国当前掌握的多晶硅生产工艺较为落后,对于生产过程中产生的各种问题,往往难以进行有效处理。而且在多晶硅生产过程中,

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