点杂多晶太阳能硅片电解磨削多线切割试验研究

【摘要】：提出了一种电解磨削多线切割点杂多晶太阳能硅片的新方法。电源的正极接硅锭,负极接切割线网,电解过程中硅锭发生微区钝化反应,形成硬度较小的钝化膜,使点杂多晶太阳能硅片更易切割。试验结果表明:该技术具有切割效率高、切片合格率高等优点。进一步检测发现,硅片宏观表面线痕浅、隐裂少,微观表面平整性好。该技术的应用降低了硅片加工的成本,提高了硅材料的利用率,也为太阳能电池的运用拓宽了空间。 【作者单位】： 南京航空航天大学机电学院;
【关键词】： 电解磨削 多线切割 点杂多晶 太阳能硅片
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51175259)
【分类号】：TG580.66
【正文快照】： 多晶硅作为太阳能电池切片的主要材料,来源相对于单晶硅更广泛,成本比单晶硅更低。在多晶硅的铸锭过程中,存在石墨坩埚氮化硅涂层粘结不牢的现象。由于热对流作用会有杂质进入硅液产生硬质点,且铸锭多晶硅回料处理得不干净也会出现硬质点,硬质点的成分多以Si C为主[1],它们会

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