蒙特卡罗模拟甲烷气体的放电特性
蒙特卡罗模拟甲烷气体的放电特性【摘要】:由气体放电生成的等离子体,在各个领域得到广泛的应用。在电子器件的制造领域,液晶显示器和大规模集成电路的制造广泛采用等离子体技术。在地球环境保
【学位授予单位】:大连交通大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2013
【分类号】:O461
【目录】:
- 摘要5-6
- Abstract6-9
- 第一章 绪论9-16
- 1.1 研究背景与意义9
- 1.2 气体放电等离子体的分类及应用9-11
- 1.2.1 气体放电等离子体的分类9-10
- 1.2.2 气体放电等离子体的应用10-11
- 1.3 气体放电等离子体的研究现状11-13
- 1.3.1 国外研究现状11-13
- 1.3.2 国内研究现状13
- 1.4 本文研究方法13-15
- 1.4.1 实验方法13-14
- 1.4.2 论计算方法14-15
- 1.5 本文研究的主要内容15-16
- 第二章 气体放电的基本物理过程16-34
- 2.1 气体中带电粒子的产生与消失16-20
- 2.1.1 带电粒子的产生16-19
- 2.1.2 带电粒子的消失19-20
- 2.2 气体放电机理20-27
- 2.2.1 非自持放电和自持放电20-21
- 2.2.2 汤逊理论21-26
- 2.2.3 流注理论26-27
- 2.3 气体放电的形式27-29
- 2.4 气体放电中粒子的碰撞类型29-33
- 2.4.1 弹性碰撞29-30
- 2.4.2 非弹性碰撞30-33
- 本章小结33-34
- 第三章 气体电子崩发展的蒙特卡罗模型34-44
- 3.1 蒙特卡罗方法简介34
- 3.2 蒙特卡罗仿真气体电子崩模型的建立34-43
- 3.2.1 模拟电子的初始化37
- 3.2.2 电子飞行时间的确定37-39
- 3.2.3 碰撞前电子状态的确定39-40
- 3.2.4 碰撞类型的确定40-41
- 3.2.5 碰撞后电子状态的确定41-43
- 本章小结43-44
- 第四章 甲烷气体电子崩参数的蒙特卡罗计算44-51
- 4.1 气体碰撞截面的选取方法44
- 4.2 甲烷气体碰撞截面的选取44-48
- 4.3 甲烷气体蒙特卡罗模拟的计算步骤48
- 4.4 数据的抽样和计算48-50
- 本章小结50-51
- 第五章 仿真结果和分析51-67
- 5.1 仿真软件介绍51
- 5.2 仿真条件51-52
- 5.3 仿真结果和分析52-66
- 本章小结66-67
- 结论67-68
- 参考文献68-71
- 攻读硕士学位期间发表的学术论文71-72
- 致谢72
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