太阳能集热管的镀膜设备──DJT—800型磁控溅射镀膜机的研制

【摘要】： 【作者单位】： 机械工业部沈阳真空技术研究所
【关键词】： 集热管 太阳能集热 磁控溅射镀膜 镀膜设备 本机 转架 镀膜室 选择性吸收薄膜 同轴磁控溅射 管镀
【正文快照】： 前言 本机用于镀制真空玻璃太阳能集热管选择性吸收薄膜。是生产太阳能集热管不可缺少的新型设备。 太阳能是取之不尽用之不竭的巨大天然能源。直接利用太阳能是开发新能源的主要途径之一;是一项节省可燃性能源、发展工农业生产、改善人民生活具有深远意义的重要措施。近年来

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