在甲烷和氢气的混合气体中的直流辉光放电清洗实验

【摘要】：本文叙述了在ＣＨ４＋Ｈ２混合气体中对不锈钢真空室壁的直流辉光放电清洗的实验研究结果。实 验表明，它具有相当高的去除氧杂质的能力，而且可以在室温下进行。通过控制ＣＨ４的浓度，可以方便地控制碳在壁上的沉积率，从而开辟了一条形成碳化壁的途径。 【作者单位】： 中国科学院等离子体物理研究所 中国科学院等离子体物理研究所 中国科学院等离子体物理研究所 中国科学院等离子体物理研究所 中国科学院等离子体物理研究所 中国科学院等离子体物理研究所
【关键词】： 直流辉光放电 甲烷和氢 氧杂质 混合气体 壁表面 分压强 真空室 放电清洗 沉积率 阴极鞘层
【正文快照】： 一、引言 .在聚变实验中广泛地采用在氢气中进行整流辉光放电来清洗真空室壁表面’‘’。但是实验表明,。在室温下这种放电清洗的氧杂质的去除率是低的“’,因而必须将真空室、壁烘烤到、柏0℃以上。在实际的情况下、由于结构的限制,高温烘烤真空室带来了克服热应力,热绝缘,

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