反应溅射太阳能选择性涂层试验研究中的几个问题

【摘要】：本文简述了用真空集热管磁控溅射镀膜机铁制不锈钢－碳／铜选择性吸收涂层的结果。讨论了镀膜机的吸收管布置问距，涂层光学性质的均匀性等问题，并提出了改进的途径。 【作者单位】： 辽宁省环境保护科学研究所 辽宁省环境保护科学研究所 辽宁省环境保护科学研究所
【关键词】： 溅射 选择性涂层 真空集热管
【正文快照】： 一、引言 磁控溅射镀膜技术近些年得到迅速发展,在工业上得到广泛应用。这种技术没有环境污染问题,可以镀合金膜并可在大面积J一以较高的沉积速率得到均匀涂层,因此许多国家,用这种技术合成了各种太阳能选择性吸收材料’‘-”’, 澳大利亚悉尼大学 I--larding等人,在 ig79年

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