非晶硅太阳能电池用优质TCO膜研究

【摘要】：本文介绍利用环形双电子枪制备非晶硅太阳电池用ITO/SnO_2双层透明导电膜新工艺。在最佳条件下制备的该膜的薄层电阻达6.1Ω/□,可见光范围的透过率大于90％,载流子浓度为1.0×10~(21)cm~(-3)。实验表明,当膜层厚为200～300A时,就可有效阻挡ITO膜中的In向a-Si:H中扩散。 【作者单位】： 北京大学 北京大学 北京大学
【关键词】： 硅太阳能电池 透明导电膜 硅太阳电池 衬底温度 载流子浓度 ITO膜 非晶 双层膜 电子枪 氧分压
【正文快照】： 一、引·官 在a一51:H太阳电池中,用作正面电极的透明导电膜(TCO膜),是决定电池性能的关键材料之一。早期的TCO膜一般采用单层ITO材料,但在以玻瑞作衬底的a一si:H太阳电池中,由于ITO膜中的In易向a一Si:H中扩散,影响电池的转换效率。因而目前国际上已用ITO/SnO:双层膜‘”或Sno

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