非晶硅太阳能电池生产工艺用氣分析方法研究

【摘要】：本文对非晶硅太阳能电池制造工艺过程所用的无机氢化物烷类气体硅烷、硼烷、磷烷、甲烷和氢及其混合气的配制与分析方法进行了研究,以微机控制配气、检测程序、气相色谱法分成分析杂质,电容法测水分,方法已应用于工艺过程分析。 【作者单位】： 北京有色金属研究总院 北京有色金属研究总院 北京有色金属研究总院 北京有色金属研究总院 北京有色金属研究总院
【关键词】： 非晶硅太阳能电池 氢化物 质量流量 多维气相色谱
【正文快照】： 特植氧艘分析工作中,Gc、Gc/Ms方法维已患用于燕楼氢化物的分析,但是,多偏重于硅烷的分析。本研究工作系统地遭行了非晶硅太踢能奄池制造工葬用氧艘硅烷、硼烷、磷烷、甲烷和氢的混合氧髓成分及其中氧、氮、甲烷和水等雄置的分析方法的研究。以微截控制配氧舆检测。方法已用

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