节能精馏新技术在改良西门子法多晶硅生产中的应用

【摘要】：在西门子法多晶硅生产中,降低精馏能耗和提高精馏产品质量的方向主要是优化的工艺流程和高效的分离技术。通过应用预热进料、优化塔组排列顺序、差压热耦合精馏技术及高效规整填料等方法,提高了操作稳定 【作者单位】： 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司;
【关键词】： 节能精馏新技术 高效分离技术 多晶硅
【分类号】：TQ127.2
【正文快照】： 改良西门子法是目前全世界多晶硅生产企业应用最多的方法。我国的多晶硅生产也大多采用改良西门子法。改良西门子法生产多晶硅的最主要的中间产品为高纯三氯氢硅。三氯氢硅的纯度直接影响到多晶硅产品的纯度,三氯氢硅的提纯精馏是多晶硅生产的关键环节[1]。 改良西门子法多晶

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