改进甲烷气体选择性的一簇氧化锡气体传感器

【摘要】：对甲烷气体来说,为了增强氧化锡气体传感器的低温敏感特性(T=310°C),由于催化剂不同,其膜的表面状态也不同,这就引起了各种特性之差异,这已经用电阻式传感器的结构进行了系统的研究。用P_t、CeO_2、La_2O_3和它们的混合物作为催化剂,由它们的性质来看,P_t是燃烧催化剂而CeO_2是原子氧的传输体。实验结果表明了CeO_2和P_t的混合物显示出对膜片检测的极佳催化特性。 【作者单位】： 电子部49所
【关键词】： 催化剂 氧化锡 气体传感器 甲烷气体 选择性 混合气体 响应时间 气体混合物 稀土氧化物 反应气体
【分类号】：TP212
【正文快照】： 1引言: 众所周知、活泼的氧化锡薄膜和厚膜适宜用作氧化气体和还原气体的传感器,而且具有相当高的灵敏度和相当短的响应时问。虽然缺乏选择性限制了这种传感器的实际应用,除了在极个别的情况下,信号还原和氧化的形式是存在的(对微电子工业来说,是在高纯度隋性气体中监测微量

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