甲烷源离子束沉积类金刚石研究

【摘要】：在低温（＜１００℃）、低压（３×１０－３Ｐａ）下，以ＣＨ４／Ａｒ混合气体形成的单离子束对低碳钢表面轰击，结果钢表面生成厚度为９０～１４０ｎｍ的薄膜，由纳米硬度计测出硬度为２１～２９ＭＰａ．作ＳＥＭ分析，在放大１８０００倍下仍观察不到薄膜晶界；ＡＥＳ分析表明其主要成分为碳；复由激光拉曼谱分析证实，这是一种非晶态的同时含ｓｐ３和ｓｐ２键的类金刚石薄膜． 【作者单位】： 煤炭科学研究总院北京建井研究所
【关键词】： 离子束沉积 类金刚石 甲烷源
【基金】：96'国家留学基金
【分类号】：TG156.8
【正文快照】： 类金刚石（ＤｉａｍｏｎｄＬｉｋｅＣａｒｂｏｎ，简称ＤＬＣ）这一术语是Ａｉｓｅｎｂｅｒｇ在１９７３年提出的［１］，指由金刚石和石墨微晶构成的一类混合体材料，其性能按金刚石与石墨微晶的组成比（ｓｐ３／ｓｐ２）不同，在较宽的范围内变动．根据这一特点，可通过

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