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研制平面旁热式甲烷气敏元件

来源:论文学术网
时间:2024-08-18 19:59:01
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研制平面旁热式甲烷气敏元件【摘要】:本文介绍了一种平面旁热式甲烷气敏元件的研制。它是利用高频溅射仪在硅片上制作出加热电阻。在它的气敏材料中,通过添加多种物质来降阻,从而使元件工作温

【摘要】:本文介绍了一种平面旁热式甲烷气敏元件的研制。它是利用高频溅射仪在硅片上制作出加热电阻。在它的气敏材料中,通过添加多种物质来降阻,从而使元件工作温度易于达到甲烷气体的敏感温度区域。并讨论了不同加热电压对灵敏度的影响。 【作者单位】: 沈阳工业大学561# 沈阳工业大学561#
【关键词】平面旁热式 甲烷 气敏元件
【分类号】:TP212
【正文快照】: 一、引言 随着石油工业的发展,天然气大量开掘,在工业、家庭等方面已得到广泛应用,但由于它的易燃易爆的特点,给使用者带来一定的危险性,故它的安全检测和防范显得越来越重要,也越来越引起人们的重视。目前,市场上所售的产品主要以二氧化锡气体传感器为主,多为普通的旁热式

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