基于FPGA的太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机控制系统的设计

【摘要】：介绍了基于FPGA的太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机控制系统的整体设计和工程实现过程。该设计以可编程逻辑器件为核心控制部件,它由工序控制流程模块、参数设置及调用模块和通讯模块三个模块组成;并基于超高速硬件描述语言在Xilinx公司SpartanⅡ系列的XC2S2005PQ-208芯片上编程实现;结合先进的人机界面触摸屏,直观地监控整个工艺过程,实现对太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机较理想的控制。 【作者单位】： 南华大学电气工程学院 南华大学电气工程学院
【关键词】： 可编程逻辑器件 超高速硬件描述语言 人机界面触摸屏 太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机
【分类号】：TP273.5
【正文快照】： 　　真空镀膜机是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备,随着电子工业的发展其工艺要求及自动化程度也越来越高。最初的真空镀膜机控制系统采用单片机设计,其工作性能受环境因素的影响较大,特别在一些恶劣的条件下工作可靠性不高、性能不稳定。目前,真空镀膜机已大

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