甲烷浓度对金刚石薄膜织构的影响

【摘要】：采用热丝化学气相沉积法,以甲烷和氢气为反应气体,在硬质合金YG6基体上沉积了金刚石薄膜。研究了不同的甲烷浓度对金刚石织构变化趋势的影响。分别采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)对金刚石膜的表面形貌、织构形成进行了分析。结果表明:当基体温度为760℃,沉积气压为4×103Pa,甲烷浓度从1%到5%,都形成了(110)织构。但是,当甲烷浓度为3.3%时,有(100)织构。 【作者单位】： 中南大学材料科学与工程学院 中南大学材料科学与工程学院 长沙矿冶研究院 长沙矿冶研究院
【关键词】： 热丝化学气相沉积 硬质合金 金刚石薄膜 织构
【基金】：株硬集团合作项目
【分类号】：TB43
【正文快照】： 近年来,由于金刚石的一系列优异的物理、化学性 能,利用化学气相沉积法在硬质合金基体制备金刚石 薄膜得到了广泛的重视“一4气硬质合金作为一种广泛 使用的刀具材料,在加工非铁金属材料其使用寿命和 加工精度并不理想。金刚石薄膜具有极高的硬度、高 的弹性模量、高的热导率

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