甲烷浓度对金刚石薄膜(100)织构生长的影响

【摘要】：以H2和CH4的混合气体为气源,用微波等离子体辅助化学气相沉积法(MPECVD)在1 cm×1 cm S i(100)基体上沉积了金刚石薄膜。研究了不同的甲烷浓度对金刚石薄膜(100)织构生长趋势的影响。分别采用扫描电子显微镜(SEM),Ram an光谱对金刚石膜的表面形貌、质量进行了分析。结果表明,当基体温度为750℃,气压为4.8×103Pa,甲烷浓度为1.4%时,薄膜表面为(100)织构。 【作者单位】： 湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
【关键词】： 微波等离子体辅助化学气相沉积 金刚石薄膜 ()织构
【基金】：湖北省科技攻关计划项目(2002AA105A02) 湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助计划项目
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 金刚石众多的优异性能使其蒙上了一层绚丽而神秘的色彩。它在热、电、声、光等方面的应用价值激起了人们强烈的研究兴趣。高质量的金刚石薄膜在光、电领域存在着巨大的潜在应用价值,这是因为金刚石薄膜具有如下优异性能:宽的带隙,缺乏红外激活振动功能;在很大的波长范围上为

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