低功耗甲烷气敏元件的制备及气敏性能研究
低功耗甲烷气敏元件的制备及气敏性能研究【摘要】:甲烷气体通常需要在较高的工作温度下工作,要达到这个工作温度区间,元件体电阻越大,功耗也就越大;要降低功耗,就要降低元件体电阻。本文所
【关键词】: 甲烷 低功耗 气敏元件
【分类号】:TP212
【正文快照】: 0引言Sno:是氧化物半导体敏感材料中应用最多、最广的一种,对多种气体具有敏感性[lj,目前对Sn姚气敏元件的研究比较深人。本元件选用Sn():作主材料,是因为SnO:半导体作敏感材料制作的气敏元件,与其它类型气敏元件相比,具有以下特点川: 1)sn02材料的物理、化学稳定性好,
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